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In: ASME/ISPS/JSME-IIP Joint conference on micromechatronics for information and precision equipment, Santa Clara, California, USA, 2006, Jg. 13 (2007), Heft 8-10, S. 1383-1389Online KonferenzZugriff:
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In: Microsystem technologies, Jg. 14 (2008), Heft 6, S. 799-807Online academicJournalZugriff: