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Verlag
Publikation
- materials for advanced metallization mam'99 2 Treffer
- materials for advanced metallization, mam 2003: proceedings of the european workshop on materials for advanced metallization 2003, la londe les maures, france, march 9-12, 2003 2 Treffer
- infos 2007: proceedings of the 15th biennial conference on insulating films on semiconductors, june 20-23, 2007, glyfada athens, greece 1 Treffer
- micro and nano engineering 2004: proceedings of the 30th international conference on micro and nano engineering, september 19-22, 2004, rotterdam, the netherlands 1 Treffer
- proceedings of the ninth european workshop on materials for advanced metallization 2005, 6-9 march 2005, dresden, germany 1 Treffer
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In: Microelectronic engineering, Jg. 83 (2006), Heft 11-12, S. 2412-2416KonferenzZugriff:
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In: INFOS 2007: Proceedings of the 15th Biennial Conference on Insulating Films on Semiconductors, June 20-23, Jg. 84 (2007), Heft 9-10, S. 2205-2208KonferenzZugriff:
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In: Materials for Advanced Metallization, MAM 2003: Proceedings of the European Workshop on Materials for Advanced Metallization 2003, La Londe Les Maures, France, March 9-12, Jg. 70 (2003), Heft 2-4, S. 158-165KonferenzZugriff:
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In: Materials for Advanced Metallization, MAM 2003: Proceedings of the European Workshop on Materials for Advanced Metallization 2003, La Londe Les Maures, France, March 9-12, Jg. 70 (2003), Heft 2-4, S. 373-376KonferenzZugriff:
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In: Microelectronic engineering, Jg. 88 (2011), Heft 11, S. 3270-3274academicJournalZugriff:
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In: Microelectronic engineering, Jg. 83 (2006), Heft 11-12, S. 2516-2521academicJournalZugriff:
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Dieser Titel kann aus lizenzrechtlichen Gründen nur im Campusnetz oder nach Anmeldung angezeigt werden!academicJournalZugriff:
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In: Microelectronic Engineering, Jg. 84 (2007-11-01), Heft 11, S. 2558-2562academicJournalZugriff:
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In: Microelectronic Engineering, Jg. 83 (2006-11-01), Heft 11/12, S. 2516-2521academicJournalZugriff:
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In: Microelectronic engineering, Jg. 85 (2008), Heft 1, S. 54-60academicJournalZugriff:
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In: Materials for Advanced Metallization MAM'99, Jg. 50 (2000), Heft 1-4, S. 87-101KonferenzZugriff:
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In: Microelectronic Engineering, Jg. 157 (2016-05-01), S. 52-59academicJournalZugriff:
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In: Microelectronic Engineering, Jg. 120 (2014-05-25), S. 157-162academicJournalZugriff:
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In: Microelectronic Engineering, Jg. 106 (2013-06-01), S. 155-159academicJournalZugriff: