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    Aluminum nitride thin films deposited by hydrogen plasma enhanced and thermal atomic layer deposition
    Jiménez, Carmen ; Tian, Liang ; et al.
    2018
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
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    Use of optical spacers to enhance infrared Mueller ellipsometry sensitivity: application to the characterization of organic thin films
    Cattelan, Denis ; Melizzi, Geraldine ; et al.
    In: Applied Optics, Jg. 55 (2016-04-19), S. 3323-3323
    Online unknown
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    Inverse problem solving and optical index determination of resist films by ellipsometry
    Tortai, Jean-Hervé ; A. Akbalik Rapine ; et al.
    2010
    Online unknown
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    Ellipsometry studies of the kinetic of deprotection of thin 193 nm positive tone resist film
    Sourd, Claire ; Tortai, Jean-Hervé ; et al.
    In: Advances in Resist Materials and Processing Technology XXV, 2008-03-14
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
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    Tuneable polarity and enhanced piezoelectric response of ZnO thin films grown by metal–organic chemical vapour deposition through the flow rate adjustment
    Mescot, X. ; Quang Chieu Bui ; et al.
    2022
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
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    Effects of Thermal Annealing on the Structural and Electrical Properties of ZnO Thin Films for Boosting their Piezoelectric Response
    Quang Chieu Bui ; Mescot, X. ; et al.
    2021
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
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    Control of ion energy during plasma enhanced atomic layer deposition: A new strategy for the modulation of TiN growth delay on SiO 2
    Bonvalot, M. ; Yeghoyan, Taguhi ; et al.
    2021
    Online unknown
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    Study of structural and electrical properties of ferroelectric HZO films obtained by single-target sputtering
    Garraud, A. ; Hachemi, M. B. ; et al.
    2021
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
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    Hybridization of ellipsometry and energy loss spectra from XPS for bandgap and optical constants determination in SiON thin films
    Resende, Joao ; Tortai, Jean-Hervé ; et al.
    2020
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
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    Photoluminescence mapping of the strain induced in InP and GaAs substrates by SiN stripes etched from thin films grown under controlled mechanical stress
    Mokhtari, Merwan ; Cassidy, Daniel T. ; et al.
    2020
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
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    Advances of RRAM Devices: Resistive Switching Mechanisms, Materials and Bionic Synaptic Application
    Zhao, Cezhou ; Yang, Li ; et al.
    In: Nanomaterials, Jg. 10 (2020-07-01), Heft 1437
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
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    Morphology Transition of ZnO from Thin Film to Nanowires on Silicon and its Correlated Enhanced Zinc Polarity Uniformity and Piezoelectric Responses
    Roussel, Hervé ; Jiménez, Carmen ; et al.
    2020
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    Plasma deposition—Impact of ions in plasma enhanced chemical vapor deposition, plasma enhanced atomic layer deposition, and applications to area selective deposition
    Yeghoyan, Taguhi ; Belahcen, Samia ; et al.
    2020
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    Low temperature growth and physical properties of InAs thin films grown on Si, GaAs and In0.53Ga0.47As template
    Bogumilowicz, Y. ; Martin, Mickael ; et al.
    In: Thin Solid Films, Jg. 645 (2018), S. 119-123
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
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    Substrate effect on the neuromorphic function of nanoionics-based transistors fabricated using WO3 thin film
    Kawamura, Kimitaka ; Higuchi, Tohru ; et al.
    In: Solid State Ionics, Jg. 364 (2021-06-01), S. 115638-115638
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    Electrochemical Reactions, Chemical Ordering Effects, and Calculated Electronic Structure, for Pt100-xMx (M = V, Zr) Thin-Film Surfaces in Acid Electrolytes
    Hays, Charles C. ; Mizutani, Uichiro
    In: MRS Advances, Jg. 2 (2017-01-16), S. 459-464
    Online unknown
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  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    Direct examination of Si atoms spatial distribution and clustering in GaAs thin films with atom probe tomography
    Alcotte, R. ; Beainy, Georges ; et al.
    2018
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    TiN/Gd:HfO2/TiN capacitors grown by PEALD showing high endurance ferroelectric switching
    Grenouillet, Laurent ; Bsiesy, Ahmad ; et al.
    In: Applied Physics Letters, Jg. 117 (2020-12-21), S. 252903-252903
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
  19. Detailansicht für Treffer 19 öffnen
    Modification mechanisms of silicon thin films in low-temperature hydrogen plasmas
    Martirosyan, V ; Despiau-Pujo, Emilie ; et al.
    2018
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
  20. Detailansicht für Treffer 20 öffnen
    Impact of In doping on GeTe phase-change materials thin films obtained by means of an innovative plasma enhanced metalorganic chemical vapor deposition process
    Angélidès, L. ; Szkutnik, P. D. ; et al.
    2017
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
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