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    Stepped-Tube Backside Cavity Piezoelectric Ultrasound Transducer Based on Sc 0.2 AI 0.8 N Thin Films.
    Li, Xiaobao ; Lyu, Haochen ; et al.
    In: Micromachines, Jg. 15 (2024), Heft 1, S. 72-83
    Online academicJournal
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    Bimorph Dual-Electrode ScAlN PMUT with Two Terminal Connections.
    Ji, Meilin ; Yang, Haolin ; et al.
    In: Micromachines, Jg. 13 (2022-12-01), Heft 12, S. 2260-2272
    Online academicJournal
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    Characterization of Ferroelectric Al 0.7 Sc 0.3 N Thin Film on Pt and Mo Electrodes.
    Nie, Ran ; Shao, Shuai ; et al.
    In: Micromachines, Jg. 13 (2022-10-01), Heft 10, S. 1629-1637
    Online academicJournal
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  4. Detailansicht für Treffer 4 öffnen
    Development of MEMS Process Compatible (Bi,Sb) 2 (Se,Te) 3 -Based Thin Films for Scalable Fabrication of Planar Micro-Thermoelectric Generators.
    Bhatnagar, Prithu ; Vashaee, Daryoosh
    In: Micromachines, Jg. 13 (2022-09-01), Heft 9, S. 1459-1477
    Online academicJournal
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    Simple and Efficient AlN-Based Piezoelectric Energy Harvesters.
    Gablech, Imrich ; Klempa, Jaroslav ; et al.
    In: Micromachines, Jg. 11 (2020-02-01), Heft 2, S. 143-143
    Online academicJournal
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  6. Detailansicht für Treffer 6 öffnen
    Optimization of the In Situ Biasing FIB Sample Preparation for Hafnia-Based Ferroelectric Capacitor.
    Zhong, Qilan ; Wang, Yiwei ; et al.
    In: Micromachines, Jg. 12 (2021-12-01), Heft 12, S. 1436-1436
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Full Text Finder (Volltext)
    Wie komme ich dran?
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sm 576 - 768
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