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    Modeling and Characterization of CMOS-Fabricated Capacitive Micromachined Ultrasound Transducers
    White, Robert D. ; Cheng, Xiaoyang ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 20 (2011-02-01), S. 104-118
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    Modeling of Front-Etched Micromachined Thermopile IR Detector by CMOS Technology
    Xiong, Bin ; Xu, Dehui ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 19 (2010-12-01), S. 1331-1340
    Online unknown
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    A post-CMOS micromachined lateral accelerometer
    Carley, L.R. ; Fedder, Gary K. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 11 (2002-06-01), S. 188-195
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    Aluminum Nitride Lamb Wave Delay Lines With Sub-6 dB Insertion Loss
    Gong, Songbin ; Breen, Michael ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-08-01), S. 569-571
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    A Micro Oven-Control System for Inertial Sensors
    Yang, Donguk ; Najafi, Khalil ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 26 (2017-06-01), S. 507-518
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    Fabrication of 32 × 32 2D Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer (CMUT) Arrays on a Borosilicate Glass Substrate With Silicon-Through-Wafer Interconnects Using Sacrificial Release Process
    Ali Onder Biliroglu ; Oralkan, Omer ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 30 (2021-12-01), S. 968-979
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    Bi-Stable Aluminum Nitride-Based Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer (PMUT)
    Kaltenbacher, Manfred ; Moll, Philipp ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 29 (2020-10-01), S. 948-953
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    Bimorph Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers
    Akhbari, Sina ; Eovino, Benjamin E. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 25 (2016-04-01), S. 326-336
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    Thin-Film Piezoelectric MEMS Transducer Suitable for Middle-Ear Audio Prostheses
    Urquiza, Rafael ; Daza, A. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 21 (2012-12-01), S. 1452-1463
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