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    Low temperature growth of SiO2 thin film by double-excitation photo-CVD
    INOUE, K ; MICHIMORI, M ; et al.
    In: Japanese journal of applied physics, Jg. 26 (1987), Heft 6, S. 805-811
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    Role of ions and radical species in silicon nitride deposition by ECR plasma CVD method
    HIRAO, T ; SETSUNE, K ; et al.
    In: Japanese journal of applied physics, Jg. 26 (1987), Heft 5, S. 544-546
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    The effects of deposition variables on deposition rate in the chemical vapour deposition of silicon nitride
    KYOUNG-SOO, YI ; JI-BUM, KIM ; et al.
    In: Thin solid films, Jg. 155 (1987), Heft 1, S. 87-95
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    Selective MOCVD growth of GaAs on Si substrate with superlattice intermediate layers
    SOGA, T ; SAKAI, S ; et al.
    In: Japanese journal of applied physics, Jg. 26 (1987), Heft 2, S. 252-255
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    Preparation of SiO2 film by photo-induced chemical vapor deposition using a deuterium lamp and its annealing effect
    TOYODA, Y ; INOUE, K ; et al.
    In: Japanese journal of applied physics, Jg. 26 (1987), Heft 6, S. 835-840
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    Low-temperature silicon epitaxial growth by photochemical vapor deposition using vacuum ultraviolet light
    GONOHE, N ; SHIMIZU, S ; et al.
    In: Japanese journal of applied physics, Jg. 26 (1987), Heft 7, S. L1189- (4S.)
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  7. Detailansicht für Treffer 7 öffnen
    Inducing rapid epitaxy of polycrystalline silicon films deposited on <100> silicon by arsenic ion implantation
    KOMEM, Y ; WONG, C. Y ; et al.
    In: Journal of applied physics, Jg. 62 (1987), Heft 1, S. 131-136
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Full Text Finder (Volltext)
    Wie komme ich dran?
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    Reflection high energy electron diffraction and X-ray studies of ain films grown on Si(111) and Si(001) by organometallic chemical vapour deposition
    CHUBACHI, Y ; SATO, K ; et al.
    In: Thin solid films, Jg. 122 (1984), Heft 3, S. 259-270
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    Chemical vapor-deposited boron nitride film on silicon asa boron diffusion source
    KIM, C ; SOHN, B. K ; et al.
    In: Journal of the Electrochemical Society, Jg. 131 (1984), Heft 6, S. 1384-1388
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    Growth of CdZnTe on Si by low-pressure chemical vapor deposition
    GOELA, J. S ; TAYLOR, R. L
    In: Applied physics letters, Jg. 51 (1987), Heft 12, S. 928-930
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Full Text Finder (Volltext)
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  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    C-Si-O(B) thin film-A possible X-ray mask substrate candidate
    MONTASSER, K ; YAMADA, H ; et al.
    In: Japanese journal of applied physics, Jg. 26 (1987), Heft 4, S. L237- (3S.)
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    Low pressure organometallic vapor phase epitaxial growth of device quality GaAs directly on (100) Si
    SHASTRY, S. K ; ZEMON, S
    In: Applied physics letters, Jg. 49 (1986), Heft 8, S. 467-469
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Full Text Finder (Volltext)
    Wie komme ich dran?
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    MOCVD growth of GaAs0.6P0.4 on Si substrate
    TAKEYASU, M ; SOGA, T ; et al.
    In: Japanese journal of applied physics, Jg. 25 (1986), Heft 4, S. L297- (2S.)
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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