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    Simple integration process of single-layer nanowire gratings for polarization navigation sensor.
    Zhang, Ran ; Chu, Jinkui ; et al.
    In: Journal of Micro/Nanolithography, MEMS & MOEMS, Jg. 15 (2016-07-01), Heft 3, S. 34501-1- (6S.)
    academicJournal
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    Fabrication and characterization of a microaccelerometer based on resonant-tunneling diodes.
    Li, Mengwei ; Deng, Tao ; et al.
    In: Journal of Micro/Nanolithography, MEMS & MOEMS, Jg. 15 (2016), Heft 1, S. 1-6
    academicJournal
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    Factors affecting fabrication of silicon nanopillars using silica nanoparticle lithography and metal-assisted chemical etching.
    Van Minh, Nguyen ; Van Hieu, Dang ; et al.
    In: Journal of Micro/Nanolithography, MEMS & MOEMS, Jg. 21 (2022), Heft 1, S. 11007-11007
    academicJournal
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    Mask defect management in extreme-ultraviolet lithography.
    Chen, Nai-Ching ; Yu, Chia-Hao ; et al.
    In: Journal of Micro/Nanolithography, MEMS & MOEMS, Jg. 13 (2014-04-01), Heft 2, S. 1-7
    academicJournal
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    Microgripping force measuring device based on SU-8 microcantilever sensor.
    Zhang, Ran ; Chu, Jinkui ; et al.
    In: Journal of Micro/Nanolithography, MEMS & MOEMS, Jg. 13 (2014), Heft 1, S. 1-7
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    Specimen alignment of micro-tensile testing using vernier-groove carrier or specimen with piezoresistive cells.
    Zhang, Duanqin ; Liu, Jianxiu ; et al.
    In: Journal of Micro/Nanolithography, MEMS & MOEMS, Jg. 12 (2013-07-01), Heft 3, S. 1-8
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    Mechanical characterization of SU-8 thin films through varying effective aspect ratios for microelectromechanical systems application.
    Chu, Jinkui ; Gao, Jiali ; et al.
    In: Journal of Micro/Nanolithography, MEMS & MOEMS, Jg. 11 (2012-04-01), Heft 2, S. 1-10
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    Novel bilayer bottom antireflective coating structure for high-performance ArF lithography applications.
    Chen, H. L. ; Chao, W. C. ; et al.
    In: Journal of Micro/Nanolithography, MEMS & MOEMS, Jg. 1 (2002-04-01), Heft 1, S. 58-62
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  9. Detailansicht für Treffer 9 öffnen
    Particle-particle interactions in a viscous liquid: an equivalent elastohydrodynamic lubrication model.
    Chu, Li-Ming ; Lai, Jin-Yuan ; et al.
    In: Journal of Micro/Nanolithography, MEMS & MOEMS, Jg. 9 (2010-07-01), Heft 3, S. 031008-31008
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    Improved solid-state planar TiPdAgAgClKCl-gel microreference electrode by silicon cap sealing package.
    Huang, I-Yu ; Wang, Shih-Han ; et al.
    In: Journal of Micro/Nanolithography, MEMS & MOEMS, Jg. 8 (2009-07-01), Heft 3, S. 033050-33050
    academicJournal
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    Large-size P-type silicon microchannel plates prepared by photoelectrochemical etching.
    Yuan, Ding ; Ci, Pengliang ; et al.
    In: Journal of Micro/Nanolithography, MEMS & MOEMS, Jg. 8 (2009-07-01), Heft 3, S. 033012-33012
    academicJournal
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  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    Research of radioisotope microbattery based on -radio-voltaic effect.
    Chu, Jinkui ; Piao, Xianggao ; et al.
    In: Journal of Micro/Nanolithography, MEMS & MOEMS, Jg. 8 (2009-04-01), Heft 2, S. 021180-21180
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    MEMS-based power disconnect for 42-V automotive power systems.
    Chu, Henry K. ; Mills, James K. ; et al.
    In: Journal of Micro/Nanolithography, MEMS & MOEMS, Jg. 7 (2008), Heft 1, S. 13010-13010
    academicJournal
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  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    Doubling the spatial resolution in capacitive tactile sensors.
    Chandra, Mochtar ; Ke, Shi-Yu ; et al.
    In: Journal of Micro/Nanolithography, MEMS & MOEMS, Jg. 16 (2017-07-01), Heft 3, S. 1-9
    academicJournal
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  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    Optimization of an optical disk manufacturing process for polymer microfluidic substrates by using the design of experiment methodology.
    Wu, Chun-Han ; Hsu, Wen-Syang ; et al.
    In: Journal of Micro/Nanolithography, MEMS & MOEMS, Jg. 9 (2010-07-01), Heft 3, S. 031011-31011
    academicJournal
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    Patterning of multilayer dielectric optical filters using metal masks fabricated by electroforming and photolithography.
    Jaing, Cheng-Chung ; Yang, Chii-Rong ; et al.
    In: Journal of Micro/Nanolithography, MEMS & MOEMS, Jg. 8 (2009-07-01), Heft 3, S. 033009-33009
    academicJournal
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