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    Low-temperature growth of Si-based organic-inorganic hybrid materials, Si-O-C and Si-N-C, by organic Cat-CVD
    NAKAYAMA, Hiroshi ; HATA, Tsuyoshi
    In: Proceedings of the Third International Conference on Hot-Wire CVD (Cat-CVD) Process, Utrecht, The Netherlands, August 23-27, 2004, Jg. 501 (2006), Heft 1-2, S. 190-194
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Structural characterization of CVD diamond films using raman and ESR spectroscopy methods
    FABISIAK, K ; BANASZAK, A ; et al.
    In: Proceedings of the Polish-French-Israeli Symposium on Spectroscopy of Modern Materials in Physics, Bedlewo, Poland, 27-30 September 2004, Jg. 28 (2006), Heft 1-2, S. 106-110
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  3. Detailansicht für Treffer 3 öffnen
    Present status and future feasibility for industrial implementation of Cat-CVC (Hot-Wire CVD) technology
    MATSUMURA, Hideki ; MASUDA, Atsushi ; et al.
    In: Proceedings of the Third International Conference on Hot-Wire CVD (Cat-CVD) Process, Utrecht, The Netherlands, August 23-27, 2004, Jg. 501 (2006), Heft 1-2, S. 58-60
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  4. Detailansicht für Treffer 4 öffnen
    Effect of deposition parameters on the stress gradient of CVD and PECVD poly-SiGe for MEMS applications
    VAN DER DONCK, T ; PROOST, J ; et al.
    In: Micromachining and microfabrication process technology IX (San Jose CA, 27-29 January 2004), 2004, S. 8-18
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    UHV-CVD growth and annealing of thin fully relaxed Ge films on (001)Si
    HALBWAX, M ; ROUVIERE, M ; et al.
    In: Si-based photonics: towards true monolithic integration. E-MRS 2004 Symposium A1, Strasbourg, France, May 25-28, Jg. 27 (2005), Heft 5, S. 822-826
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    OSL and TL dosimeter characterization of boron doped CVD diamond films
    GONCALVES, J. A. N ; SANDONATO, G. M ; et al.
    In: Proceedings of the First Topical Meeting on Nanostructured Materials and Nanotechnology, CIO 2004, Jg. 27 (2005), Heft 7, S. 1231-1234
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Large scale synthesis of single- and multi-walled carbon nanotubes by microwave CVD
    VARADAN, Vijay K ; JINING, XIE
    In: Nano- and microtechnology : materials, processes, packaging, 2002, S. 435-445
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  8. Detailansicht für Treffer 8 öffnen
    Comparison between mechanical method and chemical-assisted mechanical method for CVD diamond film polishing
    HSIEH, Chun-Hao ; TSAI, Hung-Yin ; et al.
    In: Nano- and microtechnology : materials, processes, packaging, 2002, S. 337-344
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Enabling and cost effective TiCl4 based PECVD Ti and CVD TiN processes for gigabit DRAM technology
    SRINIVAS, R. A ; MING, XI ; et al.
    In: Multilevel interconnect technology III (Santa Clara CA, 22-23 September 1999), 1999, S. 137-147
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  10. Detailansicht für Treffer 10 öffnen
    Field electron emission from randomly oriented nanotubes film grown by CVD process
    BAOQING, ZENG ; SHIKAI, TIAN ; et al.
    In: BioMEMS and nanotechnology (Perth, 10-12 December 2003), 2004, S. 30-36
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    Enhancing quality of carbons nanotubes through a real-time controlled CVD process with application to next-generation nanosystems
    LAXMINARAYANA, K ; JALILI, N
    In: Smart electronics, MEMS, bioMEMS, and nanotechnology (San Diego CA, 15-18 March 2004), 2004, S. 135-146
    Konferenz
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    CVD-diamond optical lenses
    WOERNER, E ; WILD, C ; et al.
    In: Proceedings of Diamond 2000, the 11th European Conference on Diamond, Diamond-like Materials, Carbon Nanotubes, Nitrides and Silicon Carbide, Jg. 10 (2001), Heft 3-7, S. 557-560
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    CVD diamond optics for ultraviolet
    PACE, E ; PINI, A ; et al.
    In: Proceedings of Diamond 2000, the 11th European Conference on Diamond, Diamond-like Materials, Carbon Nanotubes, Nitrides and Silicon Carbide, Jg. 10 (2001), Heft 3-7, S. 736-743
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    Logic Inverter Implemented with CVD-Assembled Graphene FET on Hexagonal Boron Nitride
    KIM, Edwin ; JAIN, Nikhil ; et al.
    In: IEEE transactions on nanotechnology, Jg. 11 (2012), Heft 3, S. 619-623
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    Piezo-resistive pressure sensors in CVD-diamond for high temperature applications
    OTTERBACH, Ralf ; HILLERINGMANN, Ulrich
    In: Instrumentation and control technology (Beijing, 24-27 October 2003), 2003, S. 381-384
    Konferenz
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  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    Integrated reflectance for monitoring silicon oxynitride anti-reflective coatings on a CVD cluster tool
    HOLDEN, J. M ; MCGAHAN, W. A ; et al.
    In: Metrology, inspection, and process control for microlithography XIV (Santa Clara CA, 28 February - 2 March 2000), 2000, S. 370-378
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    Influence of Deposition Conditions on Silicon Nanoclusters in Silicon Nitride Films Grown by Laser-Assisted CVD Method
    TSAI, Tai-Cheng ; LOU, Li-Ren ; et al.
    In: IEEE transactions on nanotechnology, Jg. 10 (2011), Heft 2, S. 197-202
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    Innovation machining method on CVD diamond film
    TSAI, Hung-Yin ; CHENG, Chih-Yung ; et al.
    In: Nano- and microtechnology : materials, processes, packaging, 2002, S. 252-259
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  19. Detailansicht für Treffer 19 öffnen
    Thermal management using planarized CVD-diamond substrates
    SINGH, S ; KRISHNAMOORTHY, A ; et al.
    In: IMAPS : international symposium on microelectronics (Chicago IL, 26-28 October 1999), 1999, S. 745-751
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    CVD diamond transmissive diffractive optics for CO2 lasers
    KONOV, V ; KONONENKO, V ; et al.
    In: Computer-controlled microshaping (Munich, 16-18 June 1999), 1999, S. 2-5
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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