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    MgO sacrificial layer for micromachining uncooled Y-Ba-Cu-O IR microbolometers on Si3N4 bridges
    GRAY, J. E ; CELIK-BUTLER, Z ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 8 (1999), Heft 2, S. 192-199
    Online academicJournal
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  2. Detailansicht für Treffer 62 öffnen
    Optimal design and noise consideration of micromachined vibrating rate gyroscope with modulated integrative differential optical sensing
    DEGANI, O ; SETER, D. J ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 7 (1998), Heft 3, S. 329-338
    Online academicJournal
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    Volltext
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  3. Detailansicht für Treffer 63 öffnen
    All-Silicon Technology for High- Q Evanescent Mode Cavity Tunable Resonators and Filters
    MUHAMMAD SHOAIB, ARIF ; PEROULIS, Dimitrios
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 23 (2014), Heft 3, S. 727-739
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  4. Detailansicht für Treffer 64 öffnen
    AlN Microresonator-Based Filters With Multiple Bandwidths at Low Intermediate Frequencies
    BONGSANG, KIM ; OLSSON, Roy H ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 22 (2013), Heft 4, S. 949-961
    Online academicJournal
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    Volltext
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  5. Detailansicht für Treffer 65 öffnen
    Principles of Meniscus-Based MEMS Gas or Liquid Pressure Sensors
    SUTER, Jonathan D ; HOHIMER, Cameron J ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 22 (2013), Heft 3, S. 670-677
    Online academicJournal
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    Volltext
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  6. Detailansicht für Treffer 66 öffnen
    Magnetoelectric Flexural Gate Transistor With Nanotesla Sensitivity
    FENG, LI ; MISRA, Rajiv ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 22 (2013), Heft 1, S. 71-79
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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  7. Detailansicht für Treffer 67 öffnen
    Poly-SiGe-Based MEMS Thin-Film Encapsulation
    BIN, GUO ; BO, WANG ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 21 (2012), Heft 1, S. 110-120
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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  8. Detailansicht für Treffer 68 öffnen
    Thin-Film Piezoelectric MEMS Transducer Suitable for Middle-Ear Audio Prostheses
    CAMPANELLA, Humberto ; CAMARGO, Carlos J ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 21 (2012), Heft 6, S. 1452-1463
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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  9. Detailansicht für Treffer 69 öffnen
    A Multimetal Surface Micromachining Process for Tunable RF MEMS Passives
    YONGHYUN, SHIM ; ZHENGZHENG, WU ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 21 (2012), Heft 4, S. 867-874
    Online academicJournal
    Zugriff:
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  10. Detailansicht für Treffer 70 öffnen
    Active MEMS Valves for Flow Control in a High-Pressure Micro-Gas-Analyzer
    GALAMBOS, Paul ; LANTZ, Jeffrey ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 20 (2011), Heft 5, S. 1150-1162
    Online academicJournal
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    Volltext
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  11. Detailansicht für Treffer 71 öffnen
    Electroless Deposition and Structuring of Silver Electrodes in Closed Microfluidic Capillaries
    HEUCK, Friedjof C. A ; STAUFER, Urs
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 20 (2011), Heft 2, S. 451-459
    Online academicJournal
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  12. Detailansicht für Treffer 72 öffnen
    Aluminum Nitride Ultrasonic Air-Coupled Actuator
    GRIFFIN, Benjamin A ; WILLIAMS, Matthew D ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 20 (2011), Heft 2, S. 476-486
    Online academicJournal
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  13. Detailansicht für Treffer 73 öffnen
    A Thermally Actuated Microelectromechanical (MEMS) Device for Measuring Viscosity
    PUCHADES, Ivan ; FULLER, Lynn F
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 20 (2011), Heft 3, S. 601-608
    Online academicJournal
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  14. Detailansicht für Treffer 74 öffnen
    Nanomechanical Proximity Perturbation for Switching in Silicon-Based Directional Couplers for High-Density Photonic Integrated Circuits
    CHATTERJEE, Rohit ; CHEE WEI, WONG
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 3, S. 657-662
    Online academicJournal
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  15. Detailansicht für Treffer 75 öffnen
    Influence of Etching Potential on Convex Corner Anisotropic Etching in TMAH Solution
    BAGOLINI, Alvise ; FAES, Alessandro ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 5, S. 1254-1259
    Online academicJournal
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  16. Detailansicht für Treffer 76 öffnen
    Device-Level Vacuum Packaging for RF MEMS
    SHAHRIAR RAHMAN, M ; CHITTEBOYINA, Murali M ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 4, S. 911-918
    Online academicJournal
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  17. Detailansicht für Treffer 77 öffnen
    High-Reflectivity Broadband Photonic Crystal Mirror MEMS Scanner With Low Dependence on Incident Angle and Polarization
    IL WOONG, JUNG ; KIM, Sora ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 18 (2009), Heft 4, S. 924-932
    Online academicJournal
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  18. Detailansicht für Treffer 78 öffnen
    Thermal Isolation of Encapsulated MEMS Resonators
    CHANDRA MOHAN, JHA ; HOPCROFT, Matthew A ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 17 (2008), Heft 1, S. 175-184
    Online academicJournal
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  19. Detailansicht für Treffer 79 öffnen
    An Improved Performance Poly-Si Pirani Vacuum Gauge Using Heat-Distributing Structural Supports
    MITCHELL, Jay ; ROIENTAN LAHIJI, G ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 17 (2008), Heft 1, S. 93-102
    Online academicJournal
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  20. Detailansicht für Treffer 80 öffnen
    Ultrathick and high-aspect-ratio nickel microgyroscope using EFAB multilayer additive electroforming
    ALPER, Said Emre ; OCAK, Ilker Ender ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 16 (2007), Heft 5, S. 1025-1035
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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