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    An integrated floating-electrode electric microgenerator
    WEI, MA ; RUIQING, ZHU ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 16 (2007), Heft 1, S. 29-37
    Online academicJournal
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    Micromechanical Resonators Based on Silicon Two-Dimensional Phononic Crystals of Square Lattice
    NAN, WANG ; MING-LIN TSAI, Julius ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 21 (2012), Heft 4, S. 801-810
    Online academicJournal
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    Simple fabrication process for self-aligned, high-performance microscanners- : Demonstrated use to generate a 2-D ablation pattern
    CHOO, Hyuck ; GARMIRE, David ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 16 (2007), Heft 2, S. 260-268
    Online academicJournal
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    Resonant magnetic field sensor with frequency output
    SUNIER, Robert ; VANCURA, Tobias ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 15 (2006), Heft 5, S. 1098-1107
    Online academicJournal
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    Towards a versatile DRIE : Silicon pit structures combined with electrochemical etch stop
    KURZAWSKI, Petra ; SALO, Tomi ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 15 (2006), Heft 4, S. 840-848
    Online academicJournal
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  6. Detailansicht für Treffer 46 öffnen
    Porous Silicon in a Semiconductor Manufacturing Environment
    BOEHRINGER, Matthias ; ARTMANN, Hans ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 21 (2012), Heft 6, S. 1375-1381
    Online academicJournal
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    Volltext
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  7. Detailansicht für Treffer 47 öffnen
    Room-Temperature Fabrication of Anodic Tantalum Pentoxide for Low-Voltage Electrowetting on Dielectric (EWOD)
    YIFAN, LI ; PARKES, William ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 17 (2008), Heft 6, S. 1481-1488
    Online academicJournal
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  8. Detailansicht für Treffer 48 öffnen
    Low-mass PECVD oxynitride gas chromatographic columns
    AGAH, Masoud ; WISE, Kensall D
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 16 (2007), Heft 4, S. 853-860
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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  9. Detailansicht für Treffer 49 öffnen
    Tungsten-Microhotplate-Array-Based Pirani Vacuum Sensor System With On-Chip Digital Front-End Processor
    JIAQI, WANG ; ZHENAN, TANG ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 20 (2011), Heft 4, S. 834-841
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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  10. Detailansicht für Treffer 50 öffnen
    Wafer-Level Transfer Technologies for PZT-Based RF MEMS Switches
    GUERRE, Roland ; DRECHSLER, Ute ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 3, S. 548-560
    Online academicJournal
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    Volltext
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  11. Detailansicht für Treffer 51 öffnen
    Tungsten-Based SOI Microhotplates for Smart Gas Sensors
    ALI, Syed Z ; UDREA, Florin ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 17 (2008), Heft 6, S. 1408-1417
    Online academicJournal
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    Volltext
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  12. Detailansicht für Treffer 52 öffnen
    Selective Transfer Technology for Microdevice Distribution
    GUERRE, Roland ; DRECHSLER, Ute ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 17 (2008), Heft 1, S. 157-165
    Online academicJournal
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    Volltext
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  13. Detailansicht für Treffer 53 öffnen
    Three-dimensional self-assembled sensors in thin-film SOI technology
    IKER, Francois ; ANDRE, Nicolas ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 15 (2006), Heft 6, S. 1687-1697
    Online academicJournal
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  14. Detailansicht für Treffer 54 öffnen
    Fluidic heterogeneous microsystems assembly and packaging
    WEI, ZHENG ; CHUNG, Jaehoon ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 15 (2006), Heft 4, S. 864-870
    Online academicJournal
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  15. Detailansicht für Treffer 55 öffnen
    Manufacturing and packaging of sensors for their integration in a vertical MCM microsystem for biomedical applications
    GOTZ, Andreas ; GRACIA, Isabel ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 10 (2001), Heft 4, S. 569-579
    Online academicJournal
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  16. Detailansicht für Treffer 56 öffnen
    AlN Microresonator-Based Filters With Multiple Bandwidths at Low Intermediate Frequencies
    BONGSANG, KIM ; OLSSON, Roy H ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 22 (2013), Heft 4, S. 949-961
    Online academicJournal
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  17. Detailansicht für Treffer 57 öffnen
    Principles of Meniscus-Based MEMS Gas or Liquid Pressure Sensors
    SUTER, Jonathan D ; HOHIMER, Cameron J ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 22 (2013), Heft 3, S. 670-677
    Online academicJournal
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  18. Detailansicht für Treffer 58 öffnen
    Magnetoelectric Flexural Gate Transistor With Nanotesla Sensitivity
    FENG, LI ; MISRA, Rajiv ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 22 (2013), Heft 1, S. 71-79
    Online academicJournal
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  19. Detailansicht für Treffer 59 öffnen
    Poly-SiGe-Based MEMS Thin-Film Encapsulation
    BIN, GUO ; BO, WANG ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 21 (2012), Heft 1, S. 110-120
    Online academicJournal
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  20. Detailansicht für Treffer 60 öffnen
    Thin-Film Piezoelectric MEMS Transducer Suitable for Middle-Ear Audio Prostheses
    CAMPANELLA, Humberto ; CAMARGO, Carlos J ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 21 (2012), Heft 6, S. 1452-1463
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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