Zum Hauptinhalt springen
UB Hagen

Suchergebnisse

UB Katalog

Artikel & mehr
97 Treffer

Suchmaske

Suchtipp für den Bereich Artikel & mehr: Wörter werden automatisch mit UND verknüpft. Eine ODER-Verknüpfung erreicht man mit dem Zeichen "|", eine NICHT-Verknüpfung mit einem "-" (Minus) vor einem Wort. Anführungszeichen ermöglichen eine Phrasensuche.
Beispiele: (burg | schloss) -mittelalter, "berufliche bildung"

Das folgende Suchfeld wird hier nicht unterstützt: "Signatur / Strichcode".

Suchergebnisse einschränken oder erweitern

Aktive Suchfilter

Erscheinungszeitraum

Mehr Treffer

Weniger Treffer

Gefunden in

Art der Quelle

Schlagwort

Sprache

97 Treffer

Sortierung: 
  1. Detailansicht für Treffer 81 öffnen
    Influence of Etching Potential on Convex Corner Anisotropic Etching in TMAH Solution
    BAGOLINI, Alvise ; FAES, Alessandro ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 5, S. 1254-1259
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  2. Detailansicht für Treffer 82 öffnen
    Device-Level Vacuum Packaging for RF MEMS
    SHAHRIAR RAHMAN, M ; CHITTEBOYINA, Murali M ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 4, S. 911-918
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  3. Detailansicht für Treffer 83 öffnen
    High-Reflectivity Broadband Photonic Crystal Mirror MEMS Scanner With Low Dependence on Incident Angle and Polarization
    IL WOONG, JUNG ; KIM, Sora ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 18 (2009), Heft 4, S. 924-932
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  4. Detailansicht für Treffer 84 öffnen
    Thermal Isolation of Encapsulated MEMS Resonators
    CHANDRA MOHAN, JHA ; HOPCROFT, Matthew A ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 17 (2008), Heft 1, S. 175-184
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  5. Detailansicht für Treffer 85 öffnen
    An Improved Performance Poly-Si Pirani Vacuum Gauge Using Heat-Distributing Structural Supports
    MITCHELL, Jay ; ROIENTAN LAHIJI, G ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 17 (2008), Heft 1, S. 93-102
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  6. Detailansicht für Treffer 86 öffnen
    Characterization of polycrystalline silicon-germanium film deposition for modularly integrated MEMS applications
    LOW, Carrie W ; KING LIU, Tsu-Jae ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 16 (2007), Heft 1, S. 68-77
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  7. Detailansicht für Treffer 87 öffnen
    Benchtop polymer MEMS
    DELILLE, Remi ; URDANETA, Mario G ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 15 (2006), Heft 5, S. 1108-1120
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  8. Detailansicht für Treffer 88 öffnen
    Piezo-FET stress-sensor arrays for wire-bonding characterization
    DOELLE, Michael ; PETERS, Christian ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 15 (2006), Heft 1, S. 120-130
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  9. Detailansicht für Treffer 89 öffnen
    A single-crystal silicon symmetrical and decoupled MEMS gyroscope on an insulating substrate
    ALPER, Said Emre ; AKIN, Tayfun
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 14 (2005), Heft 4, S. 707-717
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  10. Detailansicht für Treffer 90 öffnen
    Out-of-plane high-Q inductors on low-resistance silicon
    CHUA, Christopher L ; FORK, David K ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 12 (2003), Heft 6, S. 989-995
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  11. Detailansicht für Treffer 91 öffnen
    Surface micromachined polyimide scanning thermocouple probes
    LI, Mo-Huang ; WU, Julius J ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 10 (2001), Heft 1, S. 3-9
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  12. Detailansicht für Treffer 92 öffnen
    A traction stress sensor array for use in high-resolution robotic tactile imaging
    KANE, Bart J ; CUTKOSKY, Mark R ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 9 (2000), Heft 4, S. 425-434
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  13. Detailansicht für Treffer 93 öffnen
    Wafer- and piece-wise Si tip transfer technologies for applications in scanning probe microscopy
    AKIYAMA, T ; STAUFER, U ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 8 (1999), Heft 1, S. 65-70
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  14. Detailansicht für Treffer 94 öffnen
    Trench-Hall devices
    VANHA, R. S ; KROENER, F ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 9 (1999), Heft 1, S. 82-87
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  15. Detailansicht für Treffer 95 öffnen
    Germanium as a versatile material for low-temperature micromachining
    BIAO, LI ; BIN, XIONG ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 8 (1999), Heft 4, S. 366-372
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  16. Detailansicht für Treffer 96 öffnen
    Fabrication of nanoscale tungsten tip arrays for scanning probe microscopy-based devices
    YOU, KONDOH ; SEEGER, J ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 7 (1998), Heft 4, S. 428-434
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  17. Detailansicht für Treffer 97 öffnen
    Thermal characterization of surface-micromachined silicon nitride membranes for thermal infrared detectors
    ERIKSSON, P ; ANDERSSON, J. Y ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 6 (1997), Heft 1, S. 55-61
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
xs 0 - 576
sm 576 - 768
md 768 - 992
lg 992 - 1200
xl 1200 - 1366
xxl 1366 -