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    Arsenic-doped Ge-spiked monoemitter SiGe:C heterojunction bipolar transistors by low-temperature trisilane based chemical vapor deposition
    You, Shuzhen ; Decoutere, Stefaan ; et al.
    In: Thin Solid Films, Jg. 520 (2012-02-01), Heft 8, S. 3345-3348
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  2. Detailansicht für Treffer 22 öffnen
    The vertical heterojunction MOSFET
    DE MEYER, K ; CAYMAX, M ; et al.
    In: E-MRS Spring Conference, Symposium D: Thin Films Epitaxial Growth and Nanostructures, Jg. 336 (1998), Heft 1-2, S. 299-305
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  3. Detailansicht für Treffer 23 öffnen
    Influence of grown-in defects on the optical and electrical properties of Si/Si1-xGex/Si heterostructures
    LOO, R ; CAYMAX, M ; et al.
    In: E-MRS Spring Conference, Symposium D: Thin Films Epitaxial Growth and Nanostructures, Jg. 336 (1998), Heft 1-2, S. 227-231
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  4. Detailansicht für Treffer 24 öffnen
    Influence of low energy ion implantation on mechanical properties of magnetron sputtered metastable (Cr, A1)N thin films
    ULRICH, S ; HOLLECK, H ; et al.
    In: Thin solid films, Jg. 437 (2003), Heft 1-2, S. 164-169
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  5. Detailansicht für Treffer 25 öffnen
    Fabrication of high quality Ge virtual substrates by selective epitaxial growth in shallow trench isolated Si (001) trenches
    Wang, G. ; Loo, R. ; et al.
    In: Thin Solid Films, Jg. 518 (2010), Heft 9, S. 2538-2541
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  6. Detailansicht für Treffer 26 öffnen
    Low-frequency noise assessment of the silicon passivation of Ge pMOSFETs
    Simoen, E. ; Firrincieli, A. ; et al.
    In: Thin Solid Films, Jg. 518 (2010), Heft 9, S. 2493-2496
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  7. Detailansicht für Treffer 27 öffnen
    P+/n junction leakage in thin selectively grown Ge-in-STI substrates
    Eneman, G. ; Yang, R. ; et al.
    In: Thin Solid Films, Jg. 518 (2010), Heft 9, S. 2489-2492
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  8. Detailansicht für Treffer 28 öffnen
    Stability of silicon germanium stressors
    Tomasini, P. ; Machkaoutsan, V. ; et al.
    In: Thin Solid Films, Jg. 518 (2010), Heft 6, S. S133- (3S.)
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  9. Detailansicht für Treffer 29 öffnen
    Short-channel epitaxial germanium pMOS transistors
    Eneman, G. ; De Jaeger, B. ; et al.
    In: Thin Solid Films, Jg. 518 (2010), Heft 6, S. S88- (4S.)
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  10. Detailansicht für Treffer 30 öffnen
    Use of p- and n-type vapor phase doping and sub-melt laser anneal for extension junctions in sub-32 nm CMOS technology
    Nguyen, N.D. ; Rosseel, E. ; et al.
    In: Thin Solid Films, Jg. 518 (2010), Heft 6, S. S48- (5S.)
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  11. Detailansicht für Treffer 31 öffnen
    Si 1− xGe x growth using Si 3H 8 by low temperature chemical vapor deposition
    Takeuchi, Shotaro ; Nguyen, Ngoc Duy ; et al.
    In: Thin Solid Films, Jg. 518 (2010), Heft 6, S. S18- (5S.)
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  12. Detailansicht für Treffer 32 öffnen
    Low temperature epitaxy and the importance of moisture control : Silicon epitaxy and heterostructures; International conference: ICSI-5
    Leys, F. E. ; Hikavyy, A. ; et al.
    In: THIN SOLID FILMS, Jg. 517 (2008), Heft 1, S. 416-418
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  13. Detailansicht für Treffer 33 öffnen
    Si1 xGex growth using Si3H8 by low temperature chemical vapor deposition
    Takeuchi, S. ; Nguyen, N. D. ; et al.
    In: THIN SOLID FILMS, Jg. 518 (2010), Heft 6, S. S18- (5S.)
    serialPeriodical
    Wie komme ich dran?
  14. Detailansicht für Treffer 34 öffnen
    Influence of low energy ion implantation on mechanical properties of magnetron sputtered metastable (Cr,Al)N thin films
    Ulrich, S. ; Holleck, H. ; et al.
    In: THIN SOLID FILMS, Jg. 437 (2003), Heft 1-2, S. 164-169
    serialPeriodical
    Wie komme ich dran?
  15. Detailansicht für Treffer 35 öffnen
    XPS and TOFSIMS studies of shallow Si/Si.sub.1-x Ge.sub.x /Si layers
    Conard, T. ; De Witte, H. ; et al.
    In: Thin Solid Films, Jg. 343-344 (1999-04-01), S. 583-586
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  16. Detailansicht für Treffer 36 öffnen
    Thermal conductivity of thin SiO2 films
    BROTZEN, F. R ; LOOS, P. J ; et al.
    In: Thin solid films, Jg. 207 (1992), Heft 1-2, S. 197-201
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  17. Detailansicht für Treffer 37 öffnen
    Influence of heat treatments on the electrical resistance of thin film copper/electroless nickel microcircuit interconnections
    LOOS, J. S ; TER HAAR, B. A
    In: Thin solid films, Jg. 188 (1990), Heft 2, S. 247-258
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  18. Detailansicht für Treffer 38 öffnen
    Influence of grown-in defects on the optical and electrical properties of Si/Si~1~-~xGe~x/Si heterostructures
    Loo, R. ; Caymax, M. ; et al.
    In: THIN SOLID FILMS, Jg. 336 (1998), Heft E 1-2, S. 227-231
    serialPeriodical
    Wie komme ich dran?
  19. Detailansicht für Treffer 39 öffnen
    Color-sensitive photodetector based on porous silicon superlattices : New Developments in Porous Silicon: Relation with other Nanostructures Porous Materials
    Krueger, M. ; Marso, M. ; et al.
    In: THIN SOLID FILMS, Jg. 297 (1997), Heft 1/2, S. 241-244
    serialPeriodical
    Wie komme ich dran?
  20. Detailansicht für Treffer 40 öffnen
    Vertical Si p-MOS transistor selectively grown by low pressure chemical vapour deposition : Papers presented at the European Materials Research Society 1996 Spring Meeting, Symposium D: Group IV Heterostructures, Physics and Devices (Si, Ge, C, -̉Sn)
    Loo, R. ; Vescan, L. ; et al.
    In: THIN SOLID FILMS, Jg. 294 (1997), Heft 1/2, S. 267-270
    serialPeriodical
    Wie komme ich dran?
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