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    Low temperature formation of SiC thin film by chemical vapor deposition using vinylsilane precursor / ビニルシランを用いた熱CVDによるSiC薄膜の低温形成
    Kokubun, Hiroshi ; Nakatsuka, Osamu ; et al.
    2017
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  2. Detailansicht für Treffer 42 öffnen
    Effective C/Si ratio changes in SiC epitaxial film growth using a horizontal CVD / 横型CVD装置を用いたSiCエピ膜成長における実効C/Si比変化
    Kudou, Chiaki ; Asamizu, Hirokuni ; et al.
    2014
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  3. Detailansicht für Treffer 43 öffnen
    Generation and suppression of interfacial dislocations in SiC epitaxial film growth using a horizontal CVD reactor / 横型CVD装置を用いたSiCエピ膜成長における界面転位の発生と抑制
    Kudou, Chiaki ; Asamizu, Hirokuni ; et al.
    2015
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  4. Detailansicht für Treffer 44 öffnen
    CVDでのGe選択成長における(311)面上成長速度の温度依存性
    一実, 和田 ; 泰孝, 水野 ; et al.
    2013
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  5. Detailansicht für Treffer 45 öffnen
    HW-CVD法による低抵抗p型4H-SiC厚膜の成長
    一聡, 児島 ; 貞史, 吉田 ; et al.
    2012
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  6. Detailansicht für Treffer 46 öffnen
    TEOS-CVD SiO2/熱酸化SiO2/Si MOSキャパシタにおける界面特性の熱処理効果
    紀久夫, 山部 ; 辰哉, 深澤 ; et al.
    2012
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  7. Detailansicht für Treffer 47 öffnen
    CVD法を利用したPドープGeナノワイヤの成長
    Zhong Lin Wang ; 正則, 三留 ; et al.
    2011
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  8. Detailansicht für Treffer 48 öffnen
    SiC Epitaxial reactor cleaning by detaching SiC film / SiC膜脱離を活用したSiCエピ成長装置の短時間クリーニング
    Ishiguro, Akio ; Ito, Hideki ; et al.
    2021
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  9. Detailansicht für Treffer 49 öffnen
    4H-SiC PNコラムの濃度プロファイルの改善 / To construct 4H-SiC p/n columns with relatively uniform doping profiles
    Yamaguchi, Hiroshi ; Kojima, Katzutoshi ; et al.
    2021
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  10. Detailansicht für Treffer 50 öffnen
    CL mapping of h-BN thin films grown on sapphire substrates / サファイア基板上に成長した六方晶窒化ホウ素薄膜の面発光分析
    Kominami, Hiroko ; Takumi, Kawarazaki ; et al.
    2017
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  11. Detailansicht für Treffer 51 öffnen
    XAFS analysis of photochromic ZnO thin film / フォトクロミズム転移するZnO薄膜のXAFS解析
    Uyama, Hiroki ; Kajiyama, Hiroshi ; et al.
    2018
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  12. Detailansicht für Treffer 52 öffnen
    Film formation process and crystal growth model of hexagonal boron nitride thin films / 六方晶窒化ホウ素薄膜の形成過程と結晶成長モデル
    Masuda, Atsushi ; Kominami, Hiroko ; et al.
    2016
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  13. Detailansicht für Treffer 53 öffnen
    Etching Rate of Reactor Parts Coating Film by Chlorine Trifluoride Gas / リアクタ部品表面保護膜物質の三フッ化塩素によるエッチング速度
    Habuka, Hitoshi ; Fukae, Katsuya ; et al.
    2016
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  14. Detailansicht für Treffer 54 öffnen
    炭化珪素薄膜の低温形成法(2)
    雅希, 津地 ; 等, 羽深
    2012
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  15. Detailansicht für Treffer 55 öffnen
    4H-SiCエピタキシャル成長における過剰元素の影響
    貞史, 吉田 ; 元, 奥村 ; et al.
    2011
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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