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  1. Detailansicht für Treffer 21 öffnen
    Remote hydrogen plasma chemical vapor deposition from alkylsilane and alkylcarbosilane single-sources : Mechanism of the process and properties of resulting silicon-carbon deposits
    WROBEL, A. M
    In: EUROCVD 13: Thirteenth European Conference on Chemical Vapor Deposition, Glyfada, Athens, Greece, August 26-31, 2001, Jg. 83 (2001), S. Pr3.691
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  2. Detailansicht für Treffer 22 öffnen
    General aspects of surface chemistry of metal β-diketonates
    IGUMENOV, I. K ; TURGAMBAEVA, A. E ; et al.
    In: EUROCVD 13: Thirteenth European Conference on Chemical Vapor Deposition, Glyfada, Athens, Greece, August 26-31, 2001, Jg. 83 (2001), S. Pr3.505
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  3. Detailansicht für Treffer 23 öffnen
    Chemical vapour deposition of copper using copper(II) alkoxides
    BECKER, R ; WEISS, J ; et al.
    In: EUROCVD 13: Thirteenth European Conference on Chemical Vapor Deposition, Glyfada, Athens, Greece, August 26-31, 2001, Jg. 83 (2001), S. Pr3.569
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  4. Detailansicht für Treffer 24 öffnen
    Yttrium containing aluminide layers
    METZ, Ch ; WAHL, G ; et al.
    In: EUROCVD 13: Thirteenth European Conference on Chemical Vapor Deposition, Glyfada, Athens, Greece, August 26-31, 2001, Jg. 83 (2001), S. Pr3.869
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  5. Detailansicht für Treffer 25 öffnen
    Thermodynamic and kinetic criteria to select hydrocarbon precursor
    DE PERSIS, S ; TEYSSANDIER, F
    In: EUROCVD 13: Thirteenth European Conference on Chemical Vapor Deposition, Glyfada, Athens, Greece, August 26-31, 2001, Jg. 83 (2001), S. Pr3.39
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  6. Detailansicht für Treffer 26 öffnen
    MOCVD of Ag thin films
    PARAMONOV, S ; SAMOILENKOV, S ; et al.
    In: EUROCVD 13: Thirteenth European Conference on Chemical Vapor Deposition, Glyfada, Athens, Greece, August 26-31, 2001, Jg. 83 (2001), S. Pr3.645
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  7. Detailansicht für Treffer 27 öffnen
    Kinetics of the initial stages of film formation during low pressure chemical vapour deposition of polysilicon by pyrolysis of silane
    ZAMBOV, L ; CAUSSAT, B ; et al.
    In: EUROCVD 13: Thirteenth European Conference on Chemical Vapor Deposition, Glyfada, Athens, Greece, August 26-31, 2001, Jg. 83 (2001), S. Pr3.189
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  8. Detailansicht für Treffer 28 öffnen
    Growth of porous columnar α-GaN layers on c-plane Al2O3 by MOCVD using bisazido dimethylaminopropyl gallium as single source precursor
    WOHLFART, A ; DEVI, A ; et al.
    In: EUROCVD 13: Thirteenth European Conference on Chemical Vapor Deposition, Glyfada, Athens, Greece, August 26-31, 2001, Jg. 83 (2001), S. Pr3.683
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  9. Detailansicht für Treffer 29 öffnen
    Growth of InN whiskers from single source precursor
    DEVI, A ; PARALA, H ; et al.
    In: EUROCVD 13: Thirteenth European Conference on Chemical Vapor Deposition, Glyfada, Athens, Greece, August 26-31, 2001, Jg. 83 (2001), S. Pr3.577
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  10. Detailansicht für Treffer 30 öffnen
    Direct liquid injection MOCVD growth of TiO2 films using the precursor Ti(mpd)(dmae)2
    AWALUDDIN, A ; PEMBLE, M. E ; et al.
    In: EUROCVD 13: Thirteenth European Conference on Chemical Vapor Deposition, Glyfada, Athens, Greece, August 26-31, 2001, Jg. 83 (2001), S. Pr3.531
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  11. Detailansicht für Treffer 31 öffnen
    Simulation and validation of SiO2 LPCVD from TEOS in a vertical 300 mm multi-wafer reactor
    SCHOOF, G. J ; KLEIJN, C. R ; et al.
    In: Thirteenth European Conference on Chemical Vapor Deposition, Glyfada, Athens, Greece, August 26-31, 2001, Jg. 95 (2002), S. Pr4.51
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  12. Detailansicht für Treffer 32 öffnen
    Design, synthesis, and application of new Ti precursors compatible with Ba and Sr precursors for BST thin film by MOCVD
    WOO, K
    In: Thirteenth European Conference on Chemical Vapor Deposition, Glyfada, Athens, Greece, August 26-31, 2001, Jg. 95 (2002), S. Pr4.45
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  13. Detailansicht für Treffer 33 öffnen
    Atmospheric pressure chemical vapour deposition of BPSG films from TEOS, O3, TMB, TMPi: Determination of a chemical mechanism
    NIETO, J.-P ; CAUSSAT, B ; et al.
    In: Thirteenth European Conference on Chemical Vapor Deposition, Glyfada, Athens, Greece, August 26-31, 2001, Jg. 95 (2002), S. Pr4.37
    Konferenz
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  14. Detailansicht für Treffer 34 öffnen
    A study by GC-MS of the decomposition of precursors for the MOCVD of high temperature superconductors
    LOPAEVA, O. V ; HITCHMAN, M. L ; et al.
    In: Thirteenth European Conference on Chemical Vapor Deposition, Glyfada, Athens, Greece, August 26-31, 2001, Jg. 95 (2002), S. Pr4.85
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  15. Detailansicht für Treffer 35 öffnen
    Volatility studies on single source precursors for LaNiO3 film deposition : Mass spectrometry and thermal analysis
    KUZMINA, N ; MALKEROVA, I ; et al.
    In: EUROCVD 13: Thirteenth European Conference on Chemical Vapor Deposition, Glyfada, Athens, Greece, August 26-31, 2001, Jg. 83 (2001), S. Pr3.661
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  16. Detailansicht für Treffer 36 öffnen
    The development of MOCVD techniques for ferroelectric and dielectric thin film depositions
    LI, T ; HSU, S. T
    In: EUROCVD 13: Thirteenth European Conference on Chemical Vapor Deposition, Glyfada, Athens, Greece, August 26-31, 2001, Jg. 83 (2001), S. Pr3.1139
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  17. Detailansicht für Treffer 37 öffnen
    Synthesis of hexagonal boron nitride thin films by a plasma assisted chemical vapor deposition method
    THEVENIN, P ; SOLTANI, A ; et al.
    In: EUROCVD 13: Thirteenth European Conference on Chemical Vapor Deposition, Glyfada, Athens, Greece, August 26-31, 2001, Jg. 83 (2001), S. Pr3.803
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  18. Detailansicht für Treffer 38 öffnen
    Structure and composition investigation of RPECVD SiCN and LPCVD BCN films
    KOSINOVA, M. L ; FAINER, N. I ; et al.
    In: EUROCVD 13: Thirteenth European Conference on Chemical Vapor Deposition, Glyfada, Athens, Greece, August 26-31, 2001, Jg. 83 (2001), S. Pr3.987
    Konferenz
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  19. Detailansicht für Treffer 39 öffnen
    Single source MOCVD system for deposition of superconducting films onto moved tapes
    STADEL, O ; SCHMIDT, J ; et al.
    In: EUROCVD 13: Thirteenth European Conference on Chemical Vapor Deposition, Glyfada, Athens, Greece, August 26-31, 2001, Jg. 83 (2001), S. Pr3.1087
    Konferenz
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  20. Detailansicht für Treffer 40 öffnen
    Room temperature deposition of GeO2 thin film using dielectric barrier discharge driven excimer lamps
    MAEZONO, Y ; YANAGITA, H ; et al.
    In: EUROCVD 13: Thirteenth European Conference on Chemical Vapor Deposition, Glyfada, Athens, Greece, August 26-31, 2001, Jg. 83 (2001), S. Pr3.811
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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