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  1. KNAIPP, M ; PARK, J. M ; et al.
    In: 7th international seminar on power semiconductors, Jg. 37 (2006), Heft 3, S. 243-248
    Konferenz
  2. OLSEN, Sarah H ; TEMPLE, Matthew ; et al.
    In: Proceedings of the Fourth International Conference on Silicon Epitaxy and Heterostructures (ICSI-4), Awaji Island, Hyogo, Japan, Jg. 508 (2006), Heft 1-2, S. 338-341
    Konferenz
  3. TIANBING, CHEN ; CHENDONG, ZHU ; et al.
    In: ISDRS 2005, Jg. 50 (2006), Heft 6, S. 959-963
    Konferenz
  4. GOTTLOB, H. D. B ; ECHTERMEYER, T ; et al.
    In: ISDRS 2005, Jg. 50 (2006), Heft 6, S. 979-985
    Konferenz
  5. HORSTMANN, J. T ; GOSER, K. F
    In: Proceedings of the 28th International Conference on Micro- and Nano-Engineering, September 16-19, 2002, Lugano, Switzerland, Jg. 67-68 (2003), S. 390-396
    Konferenz
  6. PARK, Dae-Sik ; KIM, Jung-Hwan ; et al.
    In: Selected papers from the Pacific Rim Workshop on Transducers and Micro/Nano Technologies, Jg. 108 (2003), Heft 1-3, S. 75-80
    Konferenz
  7. MAHAPATRA, S ; ALAM, M. A ; et al.
    In: Infos 2005: Proceedings of the 14th Biennal Conference on Insulating Films on Semiconductors, June 22-24, Jg. 80 (2005), S. 114-121
    Konferenz
  8. HUIKAI, XIE ; FEDDER, Gary K
    In: Micromechanics section of sensors and actuators, Jg. 95 (2002), Heft 2-3, S. 212-221
    Konferenz
  9. NEUMANN, John J ; GABRIEL, Kaigham J
    In: Micromechanics section of sensors and actuators, Jg. 95 (2002), Heft 2-3, S. 175-182
    Konferenz
  10. TOKASHIKI, Ken ; BAI, Keunhee ; et al.
    In: Proceedings of the International Symposium on Dry Process (DPS 2005), Jeju, Korea, November 28-30, Jg. 515 (2007), Heft 12, S. 4864-4868
    Konferenz
  11. ASENOV, A ; KALNA, K ; et al.
    In: INFOS 2007: Proceedings of the 15th Biennial Conference on Insulating Films on Semiconductors, June 20-23, Jg. 84 (2007), Heft 9-10, S. 2398-2403
    Konferenz
  12. GUO, LIHUI ; ZHANG, YIBIN ; et al.
    In: INFOS 2003 Proceedings of the 13th Biennial Conference on Insulating Films on Semiconductors: June 18-20, Jg. 72 (2004), Heft 1-4, S. 223-229
    Konferenz
  13. TAKAGI, Shin-Ichi ; MIZUNO, Tomohisa ; et al.
    In: Proceedings of the First International SiGe Technology and Device Meeting (ISTDM 2003), From Materials and Process Technology to Device and Circuit Technology Nagoya University Symposion, Jg. 224 (2004), Heft 1-4, S. 241-247
    Konferenz
  14. HUNG, Yu-Cherng ; LIU, Bin-Da
    In: Selected papers from the 1st International Meeting on Microsensors and Microsystems, Tainan, Taiwan, 13-14 January 2003, Jg. 20 (2004), Heft 1, S. 53-59
    Konferenz
  15. DJEFFAL, F ; CHAHDI, M ; et al.
    In: Solid-state electronics, Jg. 51 (2007), Heft 1, S. 48-56
    academicJournal
  16. HONER, Kenneth A ; KOVACS, Gregory T. A
    In: Selected papers from the Technical Digest of the 2000 Solid-State Sensors and Actuators Workshop, Hilton Head Island, SC, USA, 4-8 June, Jg. 91 (2001), Heft 3, S. 386-397
    Konferenz
  17. BALTES, Henry ; BRAND, Oliver
    In: Selected papers from Eurosensors XIV, Copenhagen, Denmark, 27-30 August 2000, Jg. 92 (2001), Heft 1-3, S. 1-9
    Konferenz
  18. QIU, Y. Y ; AZEREDO-LEME, C ; et al.
    In: Selected papers from Eurosensors XIV, Copenhagen, Denmark, 27-30 August 2000, Jg. 92 (2001), Heft 1-3, S. 80-87
    Konferenz
  19. TAPAJNA, M ; HUSEKOVA, K ; et al.
    In: Microelectronic engineering, Jg. 83 (2006), Heft 11-12, S. 2412-2416
    Konferenz
  20. KOZIEL, Slawomir ; SZCZESNIAK, Wladyslaw
    In: Therminic '02, Jg. 34 (2003), Heft 12, S. 1167-1174
    Konferenz
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