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  1. A D Darji ; D R Rotake
    In: IOP Conference Series: Materials Science and Engineering, Jg. 310 (2018-02-01), S. 012030-12030
    Online unknown
  2. Sun, Chih-Ming ; Tsai, Ming-Han ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 17 (2007-06-05), S. 1275-1280
    Online unknown
  3. Zhang, Yuejun ; Li, Gang ; et al.
    In: Journal of Semiconductors, Jg. 38 (2017-09-01), S. 095002-95002
    Online unknown
  4. Wang, Linfeng ; Zhi, Hao ; et al.
    In: Journal of Semiconductors, Jg. 38 (2017-07-01), S. 075003-75003
    Online unknown
  5. Yintang, Yang ; Li-Bo, Qian ; et al.
    In: Chinese Physics B, Jg. 18 (2009-03-01), S. 1188-1193
    Online unknown
  6. Esteve, Jaume ; Verd, Jaume ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 16 (2006-09-05), S. 2203-2210
    Online unknown
  7. Chen, Chun-Chi ; Chang, Yu-Chi ; et al.
    In: Measurement Science and Technology, Jg. 17 (2006-03-07), S. 840-846
    Online unknown
  8. Kang, Sung-Mo ; Wang, Zhongda ; et al.
    In: Smart Materials and Structures, Jg. 15 (2005-12-13), S. S21- (8S.)
    Online unknown
  9. Contopanagos, Harry
    In: Journal of Physics: Conference Series, Jg. 10 (2005), S. 337-342
    Online unknown
  10. Qiu-jing, Gou ; Dongmei, Li ; et al.
    In: Chinese Physics, Jg. 16 (2007-12-01), S. 3760-3765
    Online unknown
  11. Chae, Junseok ; Kulah, Haluk ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 15 (2004-11-25), S. 336-345
    Online unknown
  12. Zhou, Peng ; Liu, Hongying ; et al.
    In: Semiconductor Science and Technology, Jg. 19 (2004-10-13), S. 1381-1385
    Online unknown
  13. Sun, Longjie ; Zhu, Zhangming ; et al.
    In: Semiconductor Science and Technology, Jg. 19 (2004-06-22), S. L81- (5S.)
    Online unknown
  14. Uranga, Arantxa ; Barniol, Nuria ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 26 (2016-10-05), S. 115012-115012
    Online unknown
  15. Siti Hawa Ruslan ; Nasir, Z
    In: IOP Conference Series: Materials Science and Engineering, Jg. 226 (2017-08-01), S. 012139-12139
    Online unknown
  16. Dakhole, Pravin ; Raut, Vaishali
    In: IOP Conference Series: Materials Science and Engineering, Jg. 225 (2017-08-01), S. 012160-12160
    Online unknown
  17. Bindal, Ahmet ; Hamedi-Hagh, Sotoudeh
    In: Nanotechnology, Jg. 17 (2006-08-11), S. 4340-4351
    Online unknown
  18. R J Luyken ; Hofmann, F
    In: Nanotechnology, Jg. 14 (2003-01-20), S. 273-276
    Online unknown
  19. Clark, D. T. ; D L Gordon ; et al.
    In: Semiconductor Science and Technology, Jg. 32 (2017-04-25), S. 054003-54003
    Online unknown
  20. Yoshida, Kohei ; Niitsu, Kiichi ; et al.
    In: Japanese Journal of Applied Physics, Jg. 56 (2016-11-10), S. 01AH05
    Online unknown
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