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    Impedance Sensing in CMOS-Embedded Microfluidics Using BEOL Electrodes
    Weng, Wei-Yang ; Chien, Jun-Chau
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 33 (2024-02-01), Heft 1, S. 110-117
    Online serialPeriodical
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    CMOS-Integrated Aluminum Nitride MEMS: A Review
    Pinto, Rui M. R. ; Gund, Ved ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 31 (2022), Heft 4, S. 500-523
    Online serialPeriodical
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    Volltext
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    Electro-Thermally Actuated Non-Volatile Mechanical Memory With CMOS-Level Operation Voltage and Low Contact Resistance
    Choi, Pan Kyu ; Lee, Yong-Bok ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 31 (2022), Heft 1, S. 87-96
    Online serialPeriodical
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    A Reliable Liquid-Based CMOS MEMS Micro Thermal Convective Accelerometer With Enhanced Sensitivity and Limit of Detection
    Wang, Xiaoyi ; Lee, Yi-Kuen ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 30 (2021), Heft 4, S. 506-512
    Online serialPeriodical
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    Wie komme ich dran?
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    Sidewall Metallization on CMOS MEMS by Platinum ALD Patterning
    Lin, Yi-Chung ; Chung, Vincent P. J. ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 29 (2020), Heft 5, S. 978-983
    Online serialPeriodical
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    Considerations for an 8-inch Wafer-Level CMOS Compatible AlN Pyroelectric 5–14 μm Wavelength IR Detector Towards Miniature Integrated Photonics Gas Sensors
    Ng, Doris K. T. ; Wu, Guoqiang ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 29 (2020), Heft 5, S. 1199-1207
    Online serialPeriodical
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    Wie komme ich dran?
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    Comparison of Conventional and Maskless Lithographic Techniques for More than Moore Post-Processing of Foundry CMOS Chips
    Tsiamis, Andreas ; Li, Yifan ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 29 (2020), Heft 5, S. 1245-1252
    Online serialPeriodical
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    Two-Dimensional CMOS MEMS Thermal Flow Sensor With High Sensitivity and Improved Accuracy
    Xu, Wei ; Wang, Xiaoyi ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 29 (2020), Heft 2, S. 248-254
    Online serialPeriodical
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    Volltext
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    On-Chip CMOS-MEMS-Based Electroosmotic Flow Micropump Integrated With High-Voltage Generator
    Okamoto, Yuki ; Ryoson, Hiroyuki ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 29 (2020), Heft 1, S. 86-94
    Online serialPeriodical
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    On-Chip CMOS-MEMS-Based Electroosmotic Flow Micropump Integrated With High-Voltage Generator
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 29 (2020), Heft 1, S. 86-94
    Online serialPeriodical
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    Volltext
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    Electro-Thermally Actuated Non-Volatile Mechanical Memory With CMOS-Level Operation Voltage and Low Contact Resistance
    Yoon, Jun-Bo ; Pan Kyu Choi ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 31 (2022-02-01), S. 87-96
    Online unknown
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    academicJournal
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    CMOS Compatible Hermetic Packages Based on Localized Fusion Bonding of Fused Silica
    Du, Lin ; Allen, Mark G.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 28 (2019), Heft 4, S. 656-665
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    CMOS Closed-Loop Control of MEMS Varactors for Robust K<subscript>a</subscript> -Band Tunable Filters
    Asadi, Mohammad Javad ; Jin, Renfeng ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 28 (2019), Heft 5, S. 910-918
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    A CMOS-MEMS Thermoresistive Micro Calorimetric Flow Sensor With Temperature Compensation
    Xu, Wei ; Ma, Shenhui ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 28 (2019), Heft 5, S. 841-849
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    A CMOS-Integrated MEMS Platform for Frequency Stable Resonators—Part II: Design and Analysis
    Chen, Chao-Yu ; Li, Ming-Huang ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 28 (2019), Heft 5, S. 755-765
    Online serialPeriodical
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    Volltext
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