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    N2 or H2/Isobutane Supermagnetron Plasma Chemical Vapor Deposition of Hydrogenated Amorphous CNx Films for Application to Elementary Amorphous CNx:H/p-Si Photovoltaic Cell
    Kinoshita, Haruhisa ; Kato, Takeyuki ; et al.
    In: Japanese Journal of Applied Physics, Jg. 52 (2013-10-24), S. 116201-116201
    Online unknown
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    Roles of Ions and Free Electrons in the Synthesis of Mechanically Hard Amorphous-CNx Films Using a Dissociative Excitation Reaction of BrCN with the Ar Electron Cyclotron Resonance Plasma
    Akasaka, Hiroki
    In: Japanese Journal of Applied Physics, Jg. 42 (2003-06-01), S. 3682-3683
    Online unknown
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    Structure and Chemical Bonds of CNx Films Deposited by Alternating Irradiations of Mass-Separated Ion Beams of C+ and N+
    Yamamoto, Kazuhiro
    In: Japanese Journal of Applied Physics, Jg. 44 (2005-04-01), S. 1879-1879
    Online unknown
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    Hardness and Structure of a-CNx Films Synthesized by Chemical Vapor Deposition
    Ohshio, Shigeo ; Saitoh, Hidetoshi ; et al.
    In: Japanese Journal of Applied Physics, Jg. 39 (2000-07-01), S. 4148-4148
    Online unknown
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    Mechanism of Nitrogen Incorporation into Amorphous-CNx Films Formed by Plasma-Enhanced Chemical-Vapor Deposition of the Doublet and Quartet States of the CN Radical
    Takahashi, Tsutomu ; Saitoh, Hidetoshi ; et al.
    In: Japanese Journal of Applied Physics, Jg. 39 (2000-03-01), S. 1371-1371
    Online unknown
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    Raman Spectroscopy Studies of the Influence of Substrate Temperature and Ion Beam Energy on CNx Thin Films Deposited by Nitrogen-Ion-Assisted Pulsed Laser Deposition
    Ho, D. H. K. ; Ren, Z. M. ; et al.
    In: Japanese Journal of Applied Physics, Jg. 38 (1999-08-01), S. 4859-4859
    Online unknown
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    Effects of Nitrogen Ion Beam Irradiation on a-C and CNx Thin Films
    Fujiyama, Hiroshi ; Matsuda, Yoshinobu ; et al.
    In: Japanese Journal of Applied Physics, Jg. 37 (1998-10-01), S. L1260
    Online unknown
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    Optical Emission Diagnostic of Laser-Induced Plasma during CNX Film Deposition
    Anna Paola Caricato ; Perrone, Alessio ; et al.
    In: Japanese Journal of Applied Physics, Jg. 36 (1997-07-01), S. 4686-4686
    Online unknown
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