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    Effect of substrate roughness on the nucleation and growth behaviour of microwave plasma enhanced CVD diamond films – a case study
    Awadesh Kumar Mallik ; Rouzbahani, Rozita ; et al.
    In: Functional Diamond, Jg. 3 (2023-12-01), Heft 1
    Online academicJournal
    Zugriff:
    View record in DOAJ (Volltext)
    Wie komme ich dran?
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    Integrated Process Sequence of Epitaxy Silicon Wafer Production Using Plasma-Enhanced CVD
    Hong, Ji-Eun ; Lee, Yonghwan ; et al.
    In: Asia-Pacific Forum on Renewable Energy, Jg. 2023 (2023-11-30), Heft 11, S. 434-434
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Dieser Titel kann aus lizenzrechtlichen Gründen nur im Campusnetz oder nach Anmeldung angezeigt werden!
    academicJournal
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    Super High-Concentration Si and N Doping of CVD Diamond Film by Thermal Decomposition of Silicon Nitride Substrate
    Yang, Yong ; Wang, Yongnian ; et al.
    In: Materials, Jg. 16 (2023-08-01), Heft 17
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext (PDF)
    Siehe Detailanzeige für Volltext
    Wie komme ich dran?
  5. Detailansicht für Treffer 5 öffnen
    Diamond films obtained on silicone substrates by the CVD method and properties of structures based on them.
    Saidov, A. S. ; Kutlimratov, A. ; et al.
    In: Physical Sciences & Technology, Jg. 10 (2023), Heft 1, S. 35-41
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  6. Detailansicht für Treffer 6 öffnen
    CVD Equipment Corporation Receives Additional Order for Ten PVT-150 Systems for Silicon Carbide Growth.
    In: Plus Company Updates, 2023-01-11
    Zeitungsartikel
    Wie komme ich dran?
  7. Detailansicht für Treffer 7 öffnen
    CVD Equipment Corporation Receives Additional Order for Ten PVT-150 Systems for Silicon Carbide Growth.
    In: Business Wire, 2023-01-10
    Zeitungsartikel
    Wie komme ich dran?
  8. Detailansicht für Treffer 8 öffnen
    Crystal Silicon Heterojunction Solar Cells by Hot-wire CVD (Presentation)
    Yan, Y
    2008
    Online Konferenz
    Zugriff:
    View record in SciTech Connect (Volltext)
    Wie komme ich dran?
  9. Detailansicht für Treffer 9 öffnen
    Characterizations of i-a-Si:H and p-a-SiC:H Film using ICP-CVD Method to the Fabrication of Large-area Heterojunction Silicon Solar Cells
    Chae Hwan Jeonga ; Min Sung Jeon ; et al.
    In: Transactions on Electrical and Electronic Materials / Transactions on Electrical and Electronic Materials, Jg. 9 (2008-04-25), Heft 2, S. 73-78
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  10. Detailansicht für Treffer 10 öffnen
    [세션초청논문] Optimization of growth rate for Si in a planetary CVD reactor
    Ramadan, Zaher ; Ik-Tae Im (임익태) ; et al.
    In: 대한기계학회 춘추학술대회, Jg. 2019 (2019-11-30), Heft 11, S. 465-465
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    Real-Time Characterization of Hot-Wire CVD Growth of Si:H Films using Spectroscopic Ellipsometry: Preprint
    Moutinho, H
    2001
    Online Konferenz
    Zugriff:
    View record in SciTech Connect (Volltext)
    Wie komme ich dran?
  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    High-Quality 10 /s Amorphous Silicon Germanium Alloy Solar Cells by Hot-Wire CVD: Preprint
    Guha, S
    2001
    Online Konferenz
    Zugriff:
    View record in SciTech Connect (Volltext)
    View record at Springer (Volltext)
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  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    Wafer rotation effect on silicon epitaxial growth for minimal CVD reactor / ミニマルCVD装置によるシリコンエピタキシャル製膜における基板回転の効果
    Motomiya, Atsuhiro ; Habuka, Hitoshi ; et al.
    2020
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    CVD Equipment Corporation Receives Order for 9 Silicon Carbide PVT Systems for High-Power Electronics.
    In: Business Wire, 2022-04-26
    Zeitungsartikel
    Wie komme ich dran?
  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    Findings from University of Aveiro Provide New Insights into Chemical Vapor Deposition (Electroconductive Silicon Nitride-titanium Nitride Ceramic Substrates for Cvd Diamond Electrode Deposition).
    In: Technology News Focus, 2023-11-29, S. 854
    Zeitungsartikel
    Wie komme ich dran?
  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    Silicon epitaxial growth using dichlorosilane for minimal CVD reactor / ミニマルCVD装置におけるジクロロシランを用いたシリコンエピタキシャル製膜
    Habuka, Hitoshi ; Otani, Mana ; et al.
    2019
    academicJournal
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  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    Gaseous species transport in Si minimal CVD reactor observed by QCM / 水晶振動子によるシリコンミニマルＣＶＤ装置内ガス移動観察
    Habuka, Hitoshi ; Otani, Mana ; et al.
    2020
    academicJournal
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  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    Purification of Si using Catalytic CVD
    조철기 (Jo, Chul-Gi) ; 이경섭 (Lee, Kyeong-Seop) ; et al.
    In: 한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집, Jg. 2009 (2009-11-30), Heft 11, S. 383-383
    Konferenz
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  19. Detailansicht für Treffer 19 öffnen
    Sub-bandgap optical absorption spectroscopy of hydrogenated microcrystalline silicon thin films prepared using hot-wire CVD (Cat-CVD) process
    GOKTAS, O ; ISIK, N ; et al.
    In: Proceedings of the Third International Conference on Hot-Wire CVD (Cat-CVD) Process, Utrecht, The Netherlands, August 23-27, 2004, Jg. 501 (2006), Heft 1-2, S. 121-124
    Konferenz
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    Growth of silicon self-assembled nanowires by using gold-enhanced CVD technology.
    Klimovskaya, A. I. ; Kalashnyk, Yu. Yu. ; et al.
    In: Semiconductor Physics, Quantum Electronics & Optoelectronics, Jg. 21 (2018-09-01), Heft 3, S. 282-287
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext (PDF)
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