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    Chemical vapor deposition processes for the fabrication of epitaxial Si-O superlattices : Silicon epitaxy and heterostructures; 2013 ICSI-8 / ISCSI-VI: 8th international conference on silicon epitaxy and heterostructures and the 6th international symposium on control of semiconductor interfaces
    Jayachandran, S. ; Delabie, A. ; et al.
    In: THIN SOLID FILMS, Jg. 557 (2014), S. 36-41
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Properties and growth peculiarities of Si0.30Ge0.70 stressor integrated in 14nm fin-based p-type metal-oxide-semiconductor field-effect transistors
    Hikavyy, A. ; Rosseel, E. ; et al.
    In: THIN SOLID FILMS, Jg. 602 (2016), S. 72-77
    serialPeriodical
    Wie komme ich dran?
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    Enhanced active P doping by using high order Ge precursors leading to intense photoluminescence
    Shimura, Y. ; Srinivasan, S. A. ; et al.
    In: THIN SOLID FILMS, Jg. 602 (2016), S. 56-59
    serialPeriodical
    Wie komme ich dran?
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    Amorphous inclusions during Ge and GeSn epitaxial growth via chemical vapor deposition
    Gencarelli, F. ; Shimura, Y. ; et al.
    In: Thin Solid Films, Jg. 590 (2015-09-01), S. 163-169
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    pMOS transistor with embedded SiGe: Elastic and plastic relaxation issues : Silicon epitaxy and heterostructures; International conference: ICSI-5
    Hikavyy, A. ; Bhouri, N. ; et al.
    In: THIN SOLID FILMS, Jg. 517 (2008), Heft 1, S. 113-116
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Benefits and side effects of high temperature anneal used to reduce threading dislocation defects in epitaxial Ge layers on Si substrates : Silicon epitaxy and heterostructures; International conference: ICSI-5
    Terzieva, V. ; Souriau, L. ; et al.
    In: THIN SOLID FILMS, Jg. 517 (2008), Heft 1, S. 172-177
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Multi-gate devices for the 32 nm technology node and beyond: Challenges for Selective Epitaxial Growth : Silicon epitaxy and heterostructures; International conference: ICSI-5
    Collaert, N. ; Rooyackers, R. ; et al.
    In: THIN SOLID FILMS, Jg. 517 (2008), Heft 1, S. 101-104
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    High Ge content SGOI substrates obtained by the Ge condensation technique: A template for growth of strained epitaxial Ge : Silicon epitaxy and heterostructures; International conference: ICSI-5
    Souriau, L. ; Terzieva, V. ; et al.
    In: THIN SOLID FILMS, Jg. 517 (2008), Heft 1, S. 23-26
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    The formation of crystalline P3HT fibrils upon annealing of a PCBM:P3HT bulk heterojunction : Thin films and nanostructured materials for photovoltaics
    Savenije, T. J. ; Kroeze, J. E. ; et al.
    In: THIN SOLID FILMS, Jg. 511-512 (2006), S. 2-6
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Non-selective thin SiGe strain-relaxed buffer layers: Growth and carbon-induced relaxation : International conference on silicon epitaxy and hetrostructures (ICSI-4)
    Caymax, M. ; Delhougne, R. ; et al.
    In: THIN SOLID FILMS, Jg. 508 (2006), Heft NO 1-2, S. 260-265
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    Characteristics of selective epitaxial SiGe deposition processes for recessed source/drain applications : International conference on silicon epitaxy and hetrostructures (ICSI-4)
    Loo, R. ; Verheyen, P. ; et al.
    In: THIN SOLID FILMS, Jg. 508 (2006), Heft NO 1-2, S. 266-269
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    Epitaxy solutions for Ge MOS technology : International conference on silicon epitaxy and hetrostructures (ICSI-4)
    Leys, F. E. ; Bonzom, R. ; et al.
    In: THIN SOLID FILMS, Jg. 508 (2006), Heft NO 1-2, S. 292-296
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    Polymeric nanocoatings by hot-wire chemical vapor deposition (HWCVD)
    LAU, Kenneth K. S ; YU, MAO ; et al.
    In: Proceedings of the Third International Conference on Hot-Wire CVD (Cat-CVD) Process, Utrecht, The Netherlands, August 23-27, 2004, Jg. 501 (2006), Heft 1-2, S. 211-215
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    Manipulating structure and enhancing conductivity of polymer acid doped polyaniline by exploiting redox chemistry
    TARVER, Jacob ; LOO, Yueh-Lin
    In: Thin solid films, Jg. 539 (2013), S. 303-308
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    XPS and TOFSIMS studies of shallow Si/Si1-xGex/Si layers
    CONARD, T ; DE WITTE, H ; et al.
    In: Proceedings of the Thin Films and Electronic Materials and Processing sessions from the 14th International Vacuum Congress, Birmingham, UK, 31 August-4 September, 1998, Jg. 343-4 (1999), S. 583-586
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    High quality, relaxed SiGe epitaxial layers for solar cell application
    SAID, K ; POORTMANS, J ; et al.
    In: E-MRS Spring Conference, Symposium E: Thin Film Materials for Large Area Electronics, Jg. 337 (1999), Heft 1-2, S. 85-89
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    The vertical heterojunction MOSFET
    DE MEYER, K ; CAYMAX, M ; et al.
    In: E-MRS Spring Conference, Symposium D: Thin Films Epitaxial Growth and Nanostructures, Jg. 336 (1998), Heft 1-2, S. 299-305
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    Influence of grown-in defects on the optical and electrical properties of Si/Si1-xGex/Si heterostructures
    LOO, R ; CAYMAX, M ; et al.
    In: E-MRS Spring Conference, Symposium D: Thin Films Epitaxial Growth and Nanostructures, Jg. 336 (1998), Heft 1-2, S. 227-231
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  19. Detailansicht für Treffer 19 öffnen
    Growth of high Ge content SiGe on (110) oriented Si wafers
    Hikavyy, A. ; Vanherle, W. ; et al.
    In: Thin Solid Films, Jg. 520 (2012-02-01), Heft 8, S. 3179-3184
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  20. Detailansicht für Treffer 20 öffnen
    Low-temperature Ge and GeSn Chemical Vapor Deposition using Ge2H6
    Gencarelli, F. ; Vincent, B. ; et al.
    In: Thin Solid Films, Jg. 520 (2012-02-01), Heft 8, S. 3211-3215
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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