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    Experimental study of airflow and particle characteristics of a 300-mm POUP/LPU minienvironment system
    HU, Shih-Cheng ; WU, Tzong-Ming
    In: IEEE transactions on semiconductor manufacturing, Jg. 16 (2003), Heft 4, S. 660-667
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
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    Particle characteristics of 300-mm minienvironment (FOUP and LPU)
    KOBAYASHI, Y ; KOBAYASHI, S ; et al.
    In: IEEE transactions on semiconductor manufacturing, Jg. 13 (2000), Heft 3, S. 259-263
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  3. Detailansicht für Treffer 3 öffnen
    Particle Characteristics of 300-nm Minienvironment (FOUP and LPU)
    Kobayashi, Y. ; Kobayashi, S. ; et al.
    In: IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING, Jg. 13 (2000), Heft 3, S. 259-263
    Online serialPeriodical
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  4. Detailansicht für Treffer 4 öffnen
    Experimental Study of Airflow and Particle Characteristics of a 300-mm POUP/LPU Minienvironment System.
    Shih-Cheng Hu, Chee Wee ; Wu, Tzong-Ming
    In: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, Jg. 16 (2003-11-01), Heft 4, S. 660-667
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  5. Detailansicht für Treffer 5 öffnen
    Experimental study of airflow and particle characteristics of a 300-mm poup/lpu minienvironment system
    Wu, Tzong-Ming ; Hu, Shih-Cheng
    In: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, Jg. 16 (2003-11-01), S. 660-667
    Online unknown
    Zugriff:
    View record in OpenAIRE (Volltext)
    Volltext
    Wie komme ich dran?
xs 0 - 576
sm 576 - 768
md 768 - 992
lg 992 - 1200
xl 1200 - 1366
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