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    OES and FTIR diagnostics of HMDSO/O<subscript>2</subscript> gas mixtures for SiO<subscript>x</subscript> deposition assisted by RF plasma
    Goujon, M. ; Belmonte, T. ; et al.
    In: Surface & Coatings Technology, Jg. 188-189 (2004-11-01), S. 756-761
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    OES and FTIR diagnostics of HMDSO/O2 gas mixtures for SiOx deposition assisted by RF plasma
    GOUJON, M ; BELMONTE, T ; et al.
    In: Proccedings of the 31st International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films, Jg. 188-89 (2004), S. 756-761
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
xs 0 - 576
sm 576 - 768
md 768 - 992
lg 992 - 1200
xl 1200 - 1366
xxl 1366 -