离子注入剥离铌酸锂单晶薄膜的犃狉 Ar＋刻蚀研究. (Chinese)

方远苹 ; 罗文博 ; et al.

In: Piezoelectrics & Acoustooptics, Jg. 42 (2020-10-01), Heft 5, S. 674-677

academicJournal

Titel:	离子注入剥离铌酸锂单晶薄膜的犃狉 Ar＋刻蚀研究. (Chinese)
Autor/in / Beteiligte Person:	方远苹 ; 罗文博 ; 昕, 郝 ; 白晓园 ; 曾慧中 ; 篧, 帅 ; 张万里
Zeitschrift:	Piezoelectrics & Acoustooptics, Jg. 42 (2020-10-01), Heft 5, S. 674-677
Veröffentlichung:	2020
Medientyp:	academicJournal
ISSN:	1004-2474 (print)
DOI:	10.11977/j.issn.1004-2474.2020.05.020
Sonstiges:	Nachgewiesen in: Applied Science & Technology Source Sprachen: Chinese

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离子注入剥离铌酸锂单晶薄膜的 犃狉 Ar＋ 刻蚀研究. (Chinese)

离子注入剥离铌酸锂单晶薄膜的犃狉 Ar＋刻蚀研究. (Chinese)