Contact-Area-Changeable CMP Conditioning for Enhancing Pad Lifetime.

Son, Jungyu ; Lee, Hyunseop ; et al.

In: Applied Sciences (2076-3417), Jg. 11 (2021-04-15), Heft 8, S. 3521-3535

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Titel:	Contact-Area-Changeable CMP Conditioning for Enhancing Pad Lifetime.
Autor/in / Beteiligte Person:	Son, Jungyu ; Lee, Hyunseop ; Bartolomeo, Antonio
Link:	Volltext (PDF)
Zeitschrift:	Applied Sciences (2076-3417), Jg. 11 (2021-04-15), Heft 8, S. 3521-3535
Veröffentlichung:	2021
Medientyp:	academicJournal
ISSN:	2076-3417 (print)
DOI:	10.3390/app11083521
Sonstiges:	Nachgewiesen in: Applied Science & Technology Source Sprachen: English

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