Electrostatically Actuated Metal-Droplet Microswitches Integrated on CMOS Chip.

Shen, Wenjiang ; Edwards, R. Timothy ; et al.

In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 15 (2006-08-01), Heft 4, S. 879-889

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Titel:	Electrostatically Actuated Metal-Droplet Microswitches Integrated on CMOS Chip.
Autor/in / Beteiligte Person:	Shen, Wenjiang ; Edwards, R. Timothy ; Kim, Chang-Jin
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Zeitschrift:	Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 15 (2006-08-01), Heft 4, S. 879-889
Veröffentlichung:	2006
Medientyp:	academicJournal
ISSN:	1057-7157 (print)
DOI:	10.1109/JMEMS.2006.878877
Sonstiges:	Nachgewiesen in: Applied Science & Technology Source Sprachen: English

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