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Vapor delivery methods for CVD: An equipment selection guide.
In: Solid State Technology, Jg. 39 (1996-05-01), Heft 5, S. 91-96
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academicJournal
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Titel: |
Vapor delivery methods for CVD: An equipment selection guide.
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Autor/in / Beteiligte Person: | Sullivan, Laura A. ; Han, Bin |
Zeitschrift: | Solid State Technology, Jg. 39 (1996-05-01), Heft 5, S. 91-96 |
Veröffentlichung: | 1996 |
Medientyp: | academicJournal |
ISSN: | 0038-111X (print) |
Sonstiges: |
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