INTERFACIAL EFFECTS ON THE CRYSTALLIZATION TEMPERATURE OF PMN-PT FILMS DEPOSITED ON LNO OR Pt BOTTOM ELECTRODES

Thu Trang Nguyen ; Wang, Genshui ; et al.

In: Integrated Ferroelectrics, Jg. 98 (2008-06-13), S. 171-182

Online unknown

Zugriff:

PMN-PT (70/30) thin films were deposited by rf magnetron sputtering on silicon substrate. Two types of bottom electrodes were studied: classical TiO x /Pt and LNO. The first one is deposited by sputtering and the LNO by sol gel. Depending on the electrode nature, thickness, … the diffusion such as oxygen, lead or other species are completely different. PMN-PT annealing temperature were studied in the range of 450 to 700°C; the interface quality is directly related to the annealing temperature. Our study was focused on the bottom electrode/PMN-PT thin films interfaces. We present dielectric and ferroelectric. They are analysed in the view of interfacial layers (nature and thickness), films structure and microstructure.

Titel:	INTERFACIAL EFFECTS ON THE CRYSTALLIZATION TEMPERATURE OF PMN-PT FILMS DEPOSITED ON LNO OR Pt BOTTOM ELECTRODES
Autor/in / Beteiligte Person:	Thu Trang Nguyen ; Wang, Genshui ; Detalle, M. ; Remiens, Denis
Link:	View record in OpenAIRE (Volltext) https://doi.org/10.1080/10584580802093520
Zeitschrift:	Integrated Ferroelectrics, Jg. 98 (2008-06-13), S. 171-182
Veröffentlichung:	Informa UK Limited, 2008
Medientyp:	unknown
ISSN:	1607-8489 (print) ; 1058-4587 (print)
DOI:	10.1080/10584580802093520
Schlagwort:	010302 applied physics Materials science Silicon Annealing (metallurgy) Analytical chemistry chemistry.chemical_element 02 engineering and technology Dielectric Sputter deposition 021001 nanoscience & nanotechnology Condensed Matter Physics Microstructure 01 natural sciences Ferroelectricity Electronic, Optical and Magnetic Materials chemistry Control and Systems Engineering Sputtering 0103 physical sciences Materials Chemistry Ceramics and Composites Electrical and Electronic Engineering Thin film Composite material 0210 nano-technology
Sonstiges:	Nachgewiesen in: OpenAIRE

Klicken Sie ein Format an und speichern Sie dann die Daten oder geben Sie eine Empfänger-Adresse ein und lassen Sie sich per Email zusenden.

BibTeX Citavi, JabRef, u.a.
(Literaturverwaltung)

PDF kein Volltext!
(Merkzettel, Notizen)

RIS Endnote, Citavi u.a.
(Literaturverwaltung)

MODS
(XML zur Weiterverarbeitung)

oder

Wählen Sie das für Sie passende Zitationsformat und kopieren Sie es dann in die Zwischenablage, lassen es sich per Mail zusenden oder speichern es als PDF-Datei.

Gewünschter Zitations-Stil:

oder

Bitte prüfen Sie, ob die Zitation formal korrekt ist, bevor Sie sie in einer Arbeit verwenden. Benutzen Sie gegebenenfalls den "Exportieren"-Dialog, wenn Sie ein Literaturverwaltungsprogramm verwenden und die Zitat-Angaben selbst formatieren wollen.