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Fabrication of the 3 Dimension Resist Microstructure Using X-Ray Diffraction

Hattori, Tadashi ; Noda, Daiji ; et al.
In: Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing, Jg. 2 (2008), S. 191-196
Online unknown

Titel:
Fabrication of the 3 Dimension Resist Microstructure Using X-Ray Diffraction
Autor/in / Beteiligte Person: Hattori, Tadashi ; Noda, Daiji ; Tanabiki, Kyo ; Funabiki, Yoichi
Link:
Zeitschrift: Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing, Jg. 2 (2008), S. 191-196
Veröffentlichung: Japan Society of Mechanical Engineers, 2008
Medientyp: unknown
ISSN: 1881-3054 (print)
DOI: 10.1299/jamdsm.2.191
Schlagwort:
  • Diffraction
  • Fabrication
  • Materials science
  • business.industry
  • Mechanical Engineering
  • Tapering
  • Molding (process)
  • Industrial and Manufacturing Engineering
  • Optics
  • Resist
  • Electroforming
  • LIGA
  • business
  • Lithography
Sonstiges:
  • Nachgewiesen in: OpenAIRE
  • Rights: OPEN

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