Influence of processing parameters on selectivity in a CVD-process of copper using Cu/sup +1/(hfac)(TMVS)

Friese, G. ; Abdul-Hak, A. ; et al.

In: European Workshop Materials for Advanced Metallization, 1997

Online unknown

Zugriff:

Titel:	Influence of processing parameters on selectivity in a CVD-process of copper using Cu/sup +1/(hfac)(TMVS)
Autor/in / Beteiligte Person:	Friese, G. ; Abdul-Hak, A. ; Schwierzi, B. ; Hohne, U.
Link:	View record in OpenAIRE (Volltext) https://doi.org/10.1109/mam.1997.621098
Zeitschrift:	European Workshop Materials for Advanced Metallization, 1997
Veröffentlichung:	IEEE, 1997
Medientyp:	unknown
DOI:	10.1109/mam.1997.621098
Sonstiges:	Nachgewiesen in: OpenAIRE Rights: CLOSED

Klicken Sie ein Format an und speichern Sie dann die Daten oder geben Sie eine Empfänger-Adresse ein und lassen Sie sich per Email zusenden.

BibTeX Citavi, JabRef, u.a.
(Literaturverwaltung)

PDF kein Volltext!
(Merkzettel, Notizen)

RIS Endnote, Citavi u.a.
(Literaturverwaltung)

MODS
(XML zur Weiterverarbeitung)

oder

Wählen Sie das für Sie passende Zitationsformat und kopieren Sie es dann in die Zwischenablage, lassen es sich per Mail zusenden oder speichern es als PDF-Datei.

Gewünschter Zitations-Stil:

oder

Bitte prüfen Sie, ob die Zitation formal korrekt ist, bevor Sie sie in einer Arbeit verwenden. Benutzen Sie gegebenenfalls den "Exportieren"-Dialog, wenn Sie ein Literaturverwaltungsprogramm verwenden und die Zitat-Angaben selbst formatieren wollen.