Design and experimental validation of a restoring force enhanced RF MEMS capacitive switch with stiction-recovery electrodes

Muhua, Li ; Zhao, Guanghong ; et al.

In: Microsystem Technologies, Jg. 23 (2016-10-08), S. 3091-3096

Online unknown

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This paper presents an approach for restoring force enhancement to radio frequency (RF) micro-electro-mechanical systems (MEMS) switch with stiction-recovery actuation mechanism. It is based on additional anti-stiction electrodes which are inserted to the coplanar waveguide (CPW) between the signal line and ground planes of a RF MEMS switch. If the movable membrane sticks to the substrate, electrostatic force, as extra restoring force, generated by the bias voltage between the anti-stiction electrodes can promise restoring action. The designed device with the proposed approach is fabricated. The restoring force of the fabricated device had reached 75, 177 and 520 μN by the bias voltages of 0, 10 and 20 V, respectively.

Titel:	Design and experimental validation of a restoring force enhanced RF MEMS capacitive switch with stiction-recovery electrodes
Autor/in / Beteiligte Person:	Muhua, Li ; Zhao, Guanghong ; Zhao, Jiahao ; You, Zheng
Link:	View record in OpenAIRE (Volltext) E-Journal im Bestand der UB Hagen? https://doi.org/10.1007/s00542-016-3134-6
Zeitschrift:	Microsystem Technologies, Jg. 23 (2016-10-08), S. 3091-3096
Veröffentlichung:	Springer Science and Business Media LLC, 2016
Medientyp:	unknown
ISSN:	1432-1858 (print) ; 0946-7076 (print)
DOI:	10.1007/s00542-016-3134-6
Schlagwort:	010302 applied physics Microelectromechanical systems Engineering business.industry Coplanar waveguide Electrical engineering Biasing 02 engineering and technology 021001 nanoscience & nanotechnology Condensed Matter Physics 01 natural sciences Electronic, Optical and Magnetic Materials Hardware and Architecture 0103 physical sciences Stiction Insertion loss Restoring force Radio frequency Electrical and Electronic Engineering 0210 nano-technology business Voltage
Sonstiges:	Nachgewiesen in: OpenAIRE Rights: CLOSED

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