Back-End of Line Compatible Transistors for Hybrid CMOS Applications
In: ECS Transactions, Jg. 90 (2019-04-30), S. 135-138
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Back-End of Line Compatible Transistors for Hybrid CMOS Applications
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Autor/in / Beteiligte Person: | Liu, Po-Tsun ; Chien Min Chang ; Shih Tse Wu ; Po Yi Kuo ; Hsiu Hsuan Wei ; Sun, Eric |
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Zeitschrift: | ECS Transactions, Jg. 90 (2019-04-30), S. 135-138 |
Veröffentlichung: | The Electrochemical Society, 2019 |
Medientyp: | unknown |
ISSN: | 1938-5862 (print) ; 1938-6737 (print) |
DOI: | 10.1149/09001.0135ecst |
Schlagwort: |
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Sonstiges: |
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