TWM observation of tensile deformation of silicon nanowire between micromachined sharp opposing tips

Fujita, Hiroyuki ; Mita, Makoto ; et al.

In: 18th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 2005. MEMS, 2005-07-06

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Process of forming a single-crystalline silicon nanowire was successfully in-situ TEM observed for the first time in between microfabricated silicon probe tips driven by integrated electrostatic microactuators; the I-V characteristics of silicon nanowire was correlated with TEM in-situ observation of the wire upon its formation (by tip contact), extension, and extinction.

Titel:	TWM observation of tensile deformation of silicon nanowire between micromachined sharp opposing tips
Autor/in / Beteiligte Person:	Fujita, Hiroyuki ; Mita, Makoto ; Kakushima, Kuniyuki ; Ishida, Tadashi
Link:	View record in OpenAIRE (Volltext) https://doi.org/10.1109/memsys.2005.1454070
Zeitschrift:	18th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 2005. MEMS, 2005-07-06
Veröffentlichung:	IEEE, 2005
Medientyp:	unknown
DOI:	10.1109/memsys.2005.1454070
Schlagwort:	Materials science Silicon business.industry Nanowire chemistry.chemical_element Nanotechnology Deformation (meteorology) chemistry Extinction (optical mineralogy) Transmission electron microscopy Ultimate tensile strength Optoelectronics Silicon nanowires business
Sonstiges:	Nachgewiesen in: OpenAIRE

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