Permittivity Measurement of Ferroelectric Thin Film Based on CPW Transmission Line

He, X. ; Xu, Yuehang ; et al.

In: Journal of Electromagnetic Waves and Applications, Jg. 22 (2008), S. 555-562

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The complex permittivity measurement of ferroelectric thin film is discussed in this paper. Considering the small thickness of ferroelectric thin film, the CPW (coplanar waveguide) with material under test (MUT) deposited on the Al2O3 is used as measurement configuration. The propagation constant is calculated and the complex permittivity of the MUT is extracted from effective permittivity by using SVR (support vector regression) method. The results show that the errors of both real part and imaginary part of the permittivity (e′r and e′′r ) are less than 1%.

Titel:	Permittivity Measurement of Ferroelectric Thin Film Based on CPW Transmission Line
Autor/in / Beteiligte Person:	He, X. ; Xu, Yuehang ; Tang, Zongxi ; Zhang, Bo ; Wu, Y.
Link:	Volltext (PDF) View record in OpenAIRE (Volltext) https://doi.org/10.1163/156939308784150272
Zeitschrift:	Journal of Electromagnetic Waves and Applications, Jg. 22 (2008), S. 555-562
Veröffentlichung:	Informa UK Limited, 2008
Medientyp:	unknown
ISSN:	1569-3937 (print) ; 0920-5071 (print)
DOI:	10.1163/156939308784150272
Schlagwort:	Permittivity Materials science business.industry Coplanar waveguide Imaginary part General Physics and Astronomy Relative permittivity Electronic, Optical and Magnetic Materials Optics Transmission line Ferroelectric thin films Optoelectronics Electrical and Electronic Engineering Propagation constant business Material under test
Sonstiges:	Nachgewiesen in: OpenAIRE

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