Ultrathin gate oxide with a reduced transition layer grown by plasma-assisted oxidation

Moon, D. W. ; Moon, J. T. ; et al.

In: Applied Physics Letters, Jg. 85 (2004-08-09), S. 988-990

Online unknown

Zugriff:

Ultrathin SiO2 grown by plasma-assisted oxidation (plasma oxide) has been investigated by high-resolution x-ray photoemission spectroscopy and medium energy ion scattering spectroscopy. We found that the plasma oxide grown at the low temperature of 400°C has a thinner transition layer than conventional thermal oxide. This thinner transition layer in the plasma oxide not only decreased the gate leakage current effectively, but also enhanced the reliability of the gate oxide. We attribute these electrical properties of the plasma oxide to the reduction of the transition layer.

Titel:	Ultrathin gate oxide with a reduced transition layer grown by plasma-assisted oxidation
Autor/in / Beteiligte Person:	Moon, D. W. ; Moon, J. T. ; Jung, U-In ; Hong, Soo-jin ; Mann Ho Cho ; Buh, G. H. ; Hyo Sik Chang ; Shin, Y. G. ; Koo, Bonwon ; Hyun, S.
Link:	View record in OpenAIRE (Volltext) E-Journal im Bestand der UB Hagen? https://doi.org/10.1063/1.1779353
Zeitschrift:	Applied Physics Letters, Jg. 85 (2004-08-09), S. 988-990
Veröffentlichung:	AIP Publishing, 2004
Medientyp:	unknown
ISSN:	1077-3118 (print) ; 0003-6951 (print)
DOI:	10.1063/1.1779353
Schlagwort:	chemistry.chemical_compound Materials science Physics and Astronomy (miscellaneous) X-ray photoelectron spectroscopy chemistry Photoemission spectroscopy Gate oxide Oxide Analytical chemistry Equivalent oxide thickness Plasma Thin film Graphene oxide paper
Sonstiges:	Nachgewiesen in: OpenAIRE

Klicken Sie ein Format an und speichern Sie dann die Daten oder geben Sie eine Empfänger-Adresse ein und lassen Sie sich per Email zusenden.

BibTeX Citavi, JabRef, u.a.
(Literaturverwaltung)

PDF kein Volltext!
(Merkzettel, Notizen)

RIS Endnote, Citavi u.a.
(Literaturverwaltung)

MODS
(XML zur Weiterverarbeitung)

oder

Wählen Sie das für Sie passende Zitationsformat und kopieren Sie es dann in die Zwischenablage, lassen es sich per Mail zusenden oder speichern es als PDF-Datei.

Gewünschter Zitations-Stil:

oder

Bitte prüfen Sie, ob die Zitation formal korrekt ist, bevor Sie sie in einer Arbeit verwenden. Benutzen Sie gegebenenfalls den "Exportieren"-Dialog, wenn Sie ein Literaturverwaltungsprogramm verwenden und die Zitat-Angaben selbst formatieren wollen.