PREPARATION AND CHARACTERIZATIONS OF PbZr0.53Ti0.47O3 THICK FILMS ON LaNiO3 COATED Si BY MODIFIED METALLORGANIC DECOMPOSITION PROCESS

Dogheche, Elhadj ; Remiens, Denis ; et al.

In: Integrated Ferroelectrics, Jg. 80 (2006-11-01), S. 11-20

Online unknown

Zugriff:

The PbZr0.53Ti0.47O3 (PZT) thick films have been deposited on LaNiO3 (LNO) coated silicon substrate by modified metallorganic decomposition process. The X-ray diffraction measurements show the films exhibit a single perovskite phase with (110) preferred orientation. SEM measurements show the PZT thick films have a layer structure with grain size about 100 nm. The thickness dependence of ferroelectric, dielectric and piezoelectric properties were investigated. The post-annealing effects on the electrical and optical properties were investigated. The results show that this (110) oriented PZT thick films on LNO coated Si substrate are potential for integrated ferroelectric devices applications.

Titel:	PREPARATION AND CHARACTERIZATIONS OF PbZr0.53Ti0.47O3 THICK FILMS ON LaNiO3 COATED Si BY MODIFIED METALLORGANIC DECOMPOSITION PROCESS
Autor/in / Beteiligte Person:	Dogheche, Elhadj ; Remiens, Denis ; Cattan, Eric ; Wang, G.S. ; Soyer, Caroline
Link:	View record in OpenAIRE (Volltext) https://doi.org/10.1080/10584580600655645
Zeitschrift:	Integrated Ferroelectrics, Jg. 80 (2006-11-01), S. 11-20
Veröffentlichung:	Informa UK Limited, 2006
Medientyp:	unknown
ISSN:	1607-8489 (print) ; 1058-4587 (print)
DOI:	10.1080/10584580600655645
Schlagwort:	010302 applied physics Materials science Silicon chemistry.chemical_element 02 engineering and technology Substrate (electronics) Dielectric 021001 nanoscience & nanotechnology Condensed Matter Physics 01 natural sciences Piezoelectricity Ferroelectricity Grain size Electronic, Optical and Magnetic Materials chemistry Control and Systems Engineering 0103 physical sciences Materials Chemistry Ceramics and Composites Electrical and Electronic Engineering Composite material 0210 nano-technology Layer (electronics) Perovskite (structure)
Sonstiges:	Nachgewiesen in: OpenAIRE

Klicken Sie ein Format an und speichern Sie dann die Daten oder geben Sie eine Empfänger-Adresse ein und lassen Sie sich per Email zusenden.

BibTeX Citavi, JabRef, u.a.
(Literaturverwaltung)

PDF kein Volltext!
(Merkzettel, Notizen)

RIS Endnote, Citavi u.a.
(Literaturverwaltung)

MODS
(XML zur Weiterverarbeitung)

oder

Wählen Sie das für Sie passende Zitationsformat und kopieren Sie es dann in die Zwischenablage, lassen es sich per Mail zusenden oder speichern es als PDF-Datei.

Gewünschter Zitations-Stil:

oder

Bitte prüfen Sie, ob die Zitation formal korrekt ist, bevor Sie sie in einer Arbeit verwenden. Benutzen Sie gegebenenfalls den "Exportieren"-Dialog, wenn Sie ein Literaturverwaltungsprogramm verwenden und die Zitat-Angaben selbst formatieren wollen.