CMOS micro-heater design for direct integration of carbon nanotubes

Aasmundtveit, Knut E. ; Roy, Avisek ; et al.

In: Microelectronics Reliability, Jg. 79 (2017-12-01), S. 517-525

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Carbon nanotubes (CNTs) are nanomaterials that exhibit many remarkable electrical, mechanical and thermal properties, which can be exploited in various smart sensing applications by integrating them in standard CMOS processes. However, such integration technique is challenging since CMOS does not tolerate high temperatures required for local CNT synthesis. This work involves designing power efficient CMOS micro-heaters that can generate CNT growth temperature (~ 900 °C) in a post-CMOS CNT fabrication step, while maintaining CMOS compatible temperature (

Titel:	CMOS micro-heater design for direct integration of carbon nanotubes
Autor/in / Beteiligte Person:	Aasmundtveit, Knut E. ; Roy, Avisek ; Ender, Ferenc ; Azadmehr, Mehdi
Link:	View record in OpenAIRE (Volltext) E-Journal im Bestand der UB Hagen? https://doi.org/10.1016/j.microrel.2017.05.031
Zeitschrift:	Microelectronics Reliability, Jg. 79 (2017-12-01), S. 517-525
Veröffentlichung:	Elsevier BV, 2017
Medientyp:	unknown
ISSN:	0026-2714 (print)
DOI:	10.1016/j.microrel.2017.05.031
Schlagwort:	Fabrication Materials science Sensing applications Nanotechnology Hardware_PERFORMANCEANDRELIABILITY 02 engineering and technology Carbon nanotube 01 natural sciences Nanomaterials law.invention Hardware_GENERAL law 0103 physical sciences Thermal Hardware_INTEGRATEDCIRCUITS Electrical and Electronic Engineering Safety, Risk, Reliability and Quality Thermal analysis 010302 applied physics 021001 nanoscience & nanotechnology Condensed Matter Physics Atomic and Molecular Physics, and Optics Surfaces, Coatings and Films Electronic, Optical and Magnetic Materials CMOS Direct integration of a beam 0210 nano-technology Hardware_LOGICDESIGN
Sonstiges:	Nachgewiesen in: OpenAIRE Rights: CLOSED

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