Ontwerp en karakterisatie van CMOS-compatibele microspiegelmatrices in SiGe-MEMS-technologie

Beernaert, Roel ; De Smet, Herbert

Universiteit Gent. Faculteit Ingenieurswetenschappen en Architectuur, 2011

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Titel:	Ontwerp en karakterisatie van CMOS-compatibele microspiegelmatrices in SiGe-MEMS-technologie
Autor/in / Beteiligte Person:	Beernaert, Roel ; De Smet, Herbert
Link:	View record in OpenAIRE (Volltext) https://biblio.ugent.be/publication/3232077/file/4335756
Veröffentlichung:	Universiteit Gent. Faculteit Ingenieurswetenschappen en Architectuur, 2011
Medientyp:	unknown
Schlagwort:	MEMS Technology and Engineering analog grey levels electromechanical pulse width modulation micromirrors microdisplay
Sonstiges:	Nachgewiesen in: OpenAIRE Sprachen: Dutch; Flemish File Description: application/pdf Language: Dutch; Flemish Rights: OPEN

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