Statistical investigations of an ENIG Nickel film morphology by Atomic Force Microscopy
In: E3S Web of Conferences ; i-DUST 2016 ; https://normandie-univ.hal.science/hal-02184724, 2016
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International audience ; The morphology of a Nickel layer grown by an Electroless Nickel Immersion Gold (ENIG) technique used for microelectronics interconnections is determined by Atomic Force Microscopy (AFM) investigations. The root mean square (rms) roughness, determined over a scanned area is a function of the AFM scanned area size. In this work, we propose to consider the dynamic scale theory and the power spectrum density (PSD) analysis in order to perform a comprehensive determination of the surface properties of the ENIG nickel layer. Results highlight the existence of a first regime with a roughness exponent of 0.95 and a fractal dimension (DF) of the nickel film about 2.05. This case study is presented in order to propose further investigations. In fact, same experimental procedure should be performed in a magnetic shielded zone where a very low noise level is available such as the Low-Noise Underground Laboratory (LSBB) of Rustrel (France). © 2016 The Authors, published by EDP Sciences.
Titel: |
Statistical investigations of an ENIG Nickel film morphology by Atomic Force Microscopy
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Autor/in / Beteiligte Person: | Germanicus, Rosine Coq ; Leclère, P. ; Hug, E. ; Lallemand, F. ; Descamps, P. ; Laboratoire de cristallographie et sciences des matériaux (CRISMAT) ; Université de Caen Normandie (UNICAEN) ; Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN) ; Normandie Université (NU)-Institut de Chimie - CNRS Chimie (INC-CNRS)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut de Recherche sur les Matériaux Avancés (IRMA) ; Normandie Université (NU)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université de Rouen Normandie (UNIROUEN) ; Normandie Université (NU)-Institut national des sciences appliquées Rouen Normandie (INSA Rouen Normandie) ; Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université de Rouen Normandie (UNIROUEN) ; Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) ; Centre d'Innovation et de Recherche en Matériaux Polymères (CIRMAP) ; Université de Mons (UMons) ; IPDiA ; Febvre P.Coulie K.Micolau G. |
Link: | |
Zeitschrift: | E3S Web of Conferences ; i-DUST 2016 ; https://normandie-univ.hal.science/hal-02184724, 2016 |
Veröffentlichung: | HAL CCSD ; EDP Sciences, 2016 |
Medientyp: | Konferenz |
DOI: | 10.1051/e3sconf/20161204003 |
Schlagwort: |
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