Caractérisation de couches minces ferroélectriques en topologie coplanaire

Nadaud, Kevin ; Gillard, Raphaël ; et al.

In: 13èmes Journées de Caractérisation Microondes et Matériaux ; https://hal.science/hal-01092460 ; 13èmes Journées de Caractérisation Microondes et Matériaux, Mar 2014, Nantes, France. pp.24 - 26, 2014

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International audience ; Résumé— Cette étude présente une nouvelle topologie de mesure pour la caractérisation des couches minces de forte permittivité. La structure de mesure est constituée d'une capacité coplanaire insérée entre deux lignes de transmis-sion. Cette méthode est utilisée ici pour la caractérisation de la permittivité et de l'accordabilité d'une couche mince ferroélectrique.

Titel:	Caractérisation de couches minces ferroélectriques en topologie coplanaire
Autor/in / Beteiligte Person:	Nadaud, Kevin ; Gillard, Raphaël ; Borderon, Caroline ; Fourn, Erwan ; Renoud, Raphaël ; Gundel, Hartmut ; Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique (IETR) ; Université de Nantes (UN)-Université de Rennes (UR)-Institut National des Sciences Appliquées - Rennes (INSA Rennes) ; Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-CentraleSupélec-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Link:	https://hal.science/hal-01092460 https://hal.science/hal-01092460/document Volltext
Zeitschrift:	13èmes Journées de Caractérisation Microondes et Matériaux ; https://hal.science/hal-01092460 ; 13èmes Journées de Caractérisation Microondes et Matériaux, Mar 2014, Nantes, France. pp.24 - 26, 2014
Veröffentlichung:	HAL CCSD, 2014
Medientyp:	Konferenz
Schlagwort:	Nantes France CPW caractérisation couche mince ferroélectrique [SPI.TRON]Engineering Sciences [physics]/Electronics Subject Geographic: Nantes France
Sonstiges:	Nachgewiesen in: BASE Sprachen: French Collection: Université de Rennes 1: Publications scientifiques (HAL) Document Type: conference object Language: French Relation: hal-01092460; https://hal.science/hal-01092460; https://hal.science/hal-01092460/document; https://hal.science/hal-01092460/file/jcmm_2014_nadaud.pdf Rights: info:eu-repo/semantics/OpenAccess

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