Caractérisation électrique d'une structure passive en hyperfréquence par mesures et modélisation de lignes CPW
In: Actes des 17èmes Journées Nationales du Réseau Doctoral en Micro-Nanoélectronique, JNRDM 2014 ; 17èmes Journées Nationales du Réseau Doctoral en Micro-Nanoélectronique, 2014
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L'étude présentée a pour objectif la détermination des propriétés électriques d'un échantillon par la caractérisation de lignes de transmissions coplanaires (CPW) de dimensions et de nature différentes. La structure étudiée est une structure Métal Isolant Semiconducteur (MIS) pour laquelle la partie isolante est constituée de 2 diélectriques déposés sur un substrat silicium. Des mesures en paramètres S jusqu'à 41GHz par analyseur de réseau vectoriel (VNA) ont permis la détermination des constantes de propagations de chaque ligne CPW par la méthode multilignes. Un phénomène d'ondes lentes (slow wave mode) significatif a été constaté et expliqué. Une modélisation analytique a été conduite, rendant compte du phénomène et corroborant les résultats de mesure. Comparativement, l'utilisation du simulateur électromagnétique (EM) Momentum d'Agilent a permis d'extraire un modèle équivalent de substrat. Finalement, une bonne concordance entre résultats de mesure et modélisation a été constatée.
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Caractérisation électrique d'une structure passive en hyperfréquence par mesures et modélisation de lignes CPW
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| Autor/in / Beteiligte Person: | Cutivet, Adrien ; Thevenot, A. ; Chakroun, A. ; Defrance, N. ; Maher, H. ; Boone, F. ; Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN) ; Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF) ; Laboratoire Nanotechnologies et Nanosystèmes Sherbrooke (LN2) ; Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Université de Sherbrooke (UdeS)-École Centrale de Lyon (ECL) ; Université de Lyon-Université de Lyon-École Supérieure de Chimie Physique Électronique de Lyon (CPE)-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon) ; Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) |
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| Zeitschrift: | Actes des 17èmes Journées Nationales du Réseau Doctoral en Micro-Nanoélectronique, JNRDM 2014 ; 17èmes Journées Nationales du Réseau Doctoral en Micro-Nanoélectronique, 2014 |
| Veröffentlichung: | HAL CCSD, 2014 |
| Medientyp: | Konferenz |
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