Forschungsverbundprojekt 'Entwurf und Modellierung von Antriebssystemen für die Mikrosystemtechnik' MODAN - www.modan.org : Abschlußbericht des Teilprojektes 'Antriebslösung in 4 Koordinaten für die Flip-Chip-Technologie zur Herstellung von neuartigen mikromechanischen Systemen für Identifikations- und Sensorsysteme' der INA - Drives & Mechatronics GmbH & Co. oHG ... : MODAN ...
Technische Informationsbibliothek u. Universitätsbibliothek, 2005
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Forschungsverbundprojekt 'Entwurf und Modellierung von Antriebssystemen für die Mikrosystemtechnik' MODAN - www.modan.org : Abschlußbericht des Teilprojektes 'Antriebslösung in 4 Koordinaten für die Flip-Chip-Technologie zur Herstellung von neuartigen mikromechanischen Systemen für Identifikations- und Sensorsysteme' der INA - Drives & Mechatronics GmbH & Co. oHG ... : MODAN ...
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Autor/in / Beteiligte Person: | INA Drives & Mechatronics GmbH & Co. OHG, Suhl |
Link: | |
Veröffentlichung: | Technische Informationsbibliothek u. Universitätsbibliothek, 2005 |
Medientyp: | report |
DOI: | 10.2314/gbv:510545939 |
Schlagwort: |
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Sonstiges: |
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