Integrated Variability Measurements of 28 nm FDSOI MOSFETs down to 4.2 K for Cryogenic CMOS Applications
In: 2020 IEEE 33rd International Conference on Microelectronic Test Structures (ICMTS) ; https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-02986756 ; 2020 IEEE 33rd International Conference on Microelectronic Test Structures (ICMTS), May 2020, Edinburgh, United Kingdom. ⟨10.1109/ICMTS48187.2020.9107906⟩, 2020
Konferenz
Zugriff:
International audience
| Titel: |
Integrated Variability Measurements of 28 nm FDSOI MOSFETs down to 4.2 K for Cryogenic CMOS Applications
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| Autor/in / Beteiligte Person: | Paz, Bruna Cardoso ; Guevel, Loick Le ; Casse, Mikael ; Billiot, Gerard ; Pillonnet, Gaël ; Jansen, Aloysius ; Haendler, Sebastien ; Juge, Andre ; Vincent, Emmanuel M. ; Galy, Philippe ; Ghibaudo, Gérard ; Vinet, Maud ; Franceschi, Silvano de ; Meunier, Tristan ; Gaillard, Fred ; Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI) ; Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)) ; Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA) ; Laboratoire de Transport Electronique Quantique et Supraconductivité (LaTEQS) ; PHotonique, ELectronique et Ingénierie QuantiqueS (PHELIQS) ; Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble (IRIG) ; Direction de Recherche Fondamentale (CEA) (DRF (CEA)) ; Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Direction de Recherche Fondamentale (CEA) (DRF (CEA)) ; Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Grenoble Alpes (UGA)-Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble (IRIG) ; Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Grenoble Alpes (UGA) ; Circuits électroniques quantiques Alpes (QuantECA) ; Institut Néel (NEEL) ; Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP ) ; Université Grenoble Alpes (UGA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP ) ; Université Grenoble Alpes (UGA) |
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| Zeitschrift: | 2020 IEEE 33rd International Conference on Microelectronic Test Structures (ICMTS) ; https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-02986756 ; 2020 IEEE 33rd International Conference on Microelectronic Test Structures (ICMTS), May 2020, Edinburgh, United Kingdom. ⟨10.1109/ICMTS48187.2020.9107906⟩, 2020 |
| Veröffentlichung: | HAL CCSD ; IEEE, 2020 |
| Medientyp: | Konferenz |
| DOI: | 10.1109/ICMTS48187.2020.9107906 |
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