Caractérisation du dopage de dispositifs de puissance en 4H-SiC par KPFM et spectroscopie µ-Raman

Sédilot, Anaël ; Vuillermet, Enora, Marion ; et al.

In: 24ème Forum des microscopies à sonde locale ; https://hal.science/hal-04171760 ; 24ème Forum des microscopies à sonde locale, Apr 2023, Obernai, France ; http://sondeslocales.fr/forum2023, 2023

Konferenz

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International audience

Titel:	Caractérisation du dopage de dispositifs de puissance en 4H-SiC par KPFM et spectroscopie µ-Raman
Autor/in / Beteiligte Person:	Sédilot, Anaël ; Vuillermet, Enora, Marion ; Deturche, Régis ; Usureau, Elise ; Béal, Jérémie ; Bercu, Nicolas ; Lazar, Mihai ; Lumière, nanomatériaux et nanotechnologies (L2n) ; Université de Technologie de Troyes (UTT)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) ; Laboratoire de Recherche en Nanosciences - EA 4682 (LRN) ; Université de Reims Champagne-Ardenne (URCA)-SFR CAP Santé (Champagne-Ardenne Picardie Santé) ; Université de Reims Champagne-Ardenne (URCA)-Université de Reims Champagne-Ardenne (URCA)-SFR Condorcet ; Université de Reims Champagne-Ardenne (URCA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Reims Champagne-Ardenne (URCA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) ; Nanomat platform, part of the Renatech platform, supported by the Ministère de l’Enseignement Supérieur et de la Recherche, the Région Grand Est, and FEDER funds from the European Community. ; European Project: 508 2699-33931
Link:	https://hal.science/hal-04171760
Zeitschrift:	24ème Forum des microscopies à sonde locale ; https://hal.science/hal-04171760 ; 24ème Forum des microscopies à sonde locale, Apr 2023, Obernai, France ; http://sondeslocales.fr/forum2023, 2023
Veröffentlichung:	HAL CCSD, 2023
Medientyp:	Konferenz
Schlagwort:	Obernai France [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics [PHYS.COND.CM-MS]Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Materials Science [cond-mat.mtrl-sci] Subject Geographic: Obernai France
Sonstiges:	Nachgewiesen in: BASE Sprachen: French Document Type: conference object Language: French Relation: info:eu-repo/grantAgreement//508 2699-33931/EU/European FEDER funds/; hal-04171760; https://hal.science/hal-04171760 Rights: http://creativecommons.org/licenses/by/

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