Puolijohdekomponenttien valmistusprosessin simulointi

Grahn, Kaj ; Halonen, Kari

In: Grahn , K & Halonen , K 1985 , Puolijohdekomponenttien valmistusprosessin simulointi Valtion teknillinen tutkimuskeskus. Tiedotteita , no. 412 , VTT Technical Research Centre of Finland , Espoo .; (1985)

Buch

Wie komme ich dran?

Simulointiohjelmaa SUPREM2 voidaan käyttää apuvälineenä suunniteltaessa uutta puoliiohdekomponenttien valmistusprosessia tai kehiteltäessä jo olemassa olevaa prosessia. Ohjelma laskee prosessiaskeleiden, epitaktinen kasvatus, ioni-istutus, oksidointi ja diffuusio, aikana tapahtuvan konsentraatioprofiilin muutoksen. Lisäksi se laskee pn-liitosten syvyydet sekä puolijohdekomponenttien sähköiset suureet, neliövastuksen ja kynnysjännitteen. Aluksi käydään läpi eri prosessivaiheita kuvaavia matemaattisia malleja ja tarkastellaan lyhyesti simulointiohjelman rakennetta. Uusi yhteispohjoismainen CMOS-prosessi, nimeltään NordiCMOS, on simuloitu SUPREM2:lla. Simuloidut tulokset vastaavat hyvin muualla mitattuja vastaavan prosessin arvoja. Tavoitteena on saada toimiva prosessi suunnittelusääntöineen.

Titel:	Puolijohdekomponenttien valmistusprosessin simulointi
Autor/in / Beteiligte Person:	Grahn, Kaj ; Halonen, Kari
Link:	https://cris.vtt.fi/en/publications/445cd2ae-01cf-4075-81e5-f99033cc64a6
Quelle:	Grahn , K & Halonen , K 1985 , Puolijohdekomponenttien valmistusprosessin simulointi Valtion teknillinen tutkimuskeskus. Tiedotteita , no. 412 , VTT Technical Research Centre of Finland , Espoo .; (1985)
Veröffentlichung:	VTT Technical Research Centre of Finland, 1985
Medientyp:	Buch
Schlagwort:	integrated circuits semiconductor devices manufacturing computer simulation mathematical models
Sonstiges:	Nachgewiesen in: BASE Sprachen: Finnish Document Type: book Language: Finnish Rights: info:eu-repo/semantics/restrictedAccess

Klicken Sie ein Format an und speichern Sie dann die Daten oder geben Sie eine Empfänger-Adresse ein und lassen Sie sich per Email zusenden.

BibTeX Citavi, JabRef, u.a.
(Literaturverwaltung)

PDF kein Volltext!
(Merkzettel, Notizen)

RIS Endnote, Citavi u.a.
(Literaturverwaltung)

MODS
(XML zur Weiterverarbeitung)

oder

Wählen Sie das für Sie passende Zitationsformat und kopieren Sie es dann in die Zwischenablage, lassen es sich per Mail zusenden oder speichern es als PDF-Datei.

Gewünschter Zitations-Stil:

oder

Bitte prüfen Sie, ob die Zitation formal korrekt ist, bevor Sie sie in einer Arbeit verwenden. Benutzen Sie gegebenenfalls den "Exportieren"-Dialog, wenn Sie ein Literaturverwaltungsprogramm verwenden und die Zitat-Angaben selbst formatieren wollen.