High voltage excitation and nonlinear transmission of a 16 MHz AlN-based piezoelectric micro-machined ultrasonic transducer
In: 10ème Edition Franco-Belge du Mardi des Chercheurs, MdC 2019 ; https://uphf.hal.science/hal-03591183 ; 10ème Edition Franco-Belge du Mardi des Chercheurs, 2019
Konferenz
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Poster E0 ; International audience ; This paper reports a 16 MHz AlN-based piezoelectric micro-machined ultrasonic transducer (PMUT) under high voltage excitation. The proposed PMUT array consists of 44x39 elements fabricated on a silicon-on-insulator (SOI) substrate with 1 μm AlN film on 5 μm silicon membrane. The electrical impedance was 11.6-j30 Ohm at 15.8 MHz resonant frequency in air and 4.72-j25 Ohm at 13.9 MHz when water charged. The LDV measurements showed that the transmission efficiency and the bandwidth for free vibration were 1.7 nm/V and 2.1%, respectively. Nonlinear behavior was observed when increasing the burst amplitude. This strategy is potentially applied to CMOS-compatible high-resolution ultrasonography
| Titel: |
High voltage excitation and nonlinear transmission of a 16 MHz AlN-based piezoelectric micro-machined ultrasonic transducer
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| Autor/in / Beteiligte Person: | Liu, Wen-Juan ; Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN) ; Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF) ; Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN (MAMINA - IEMN) ; Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - Département Opto-Acousto-Électronique - UMR 8520 (IEMN-DOAE) ; Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN) ; Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF) |
| Link: | |
| Zeitschrift: | 10ème Edition Franco-Belge du Mardi des Chercheurs, MdC 2019 ; https://uphf.hal.science/hal-03591183 ; 10ème Edition Franco-Belge du Mardi des Chercheurs, 2019 |
| Veröffentlichung: | HAL CCSD, 2019 |
| Medientyp: | Konferenz |
| Schlagwort: |
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| Sonstiges: |
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