Epitaxial Si, SiGe and Ge for high-performance devices
In: ASM User Meeting, Munich, Germany [DE], 23/09/2010, 2010
Konferenz
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Titel: |
Epitaxial Si, SiGe and Ge for high-performance devices
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Autor/in / Beteiligte Person: | Loo, Roger ; Hikavyy, Andriy ; Vincent, Benjamin ; Wang, Gang ; Vanherle, Wendy ; Gencarelli, Federica ; Nguyen, Ngoc Duy ; Rosseel, Erik ; Souriau, Laurent ; Rondas, Dirk ; Dekoster, Johan ; Caymax, Matty |
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Zeitschrift: | ASM User Meeting, Munich, Germany [DE], 23/09/2010, 2010 |
Veröffentlichung: | 2010 |
Medientyp: | Konferenz |
Schlagwort: |
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