The kinetics and mechanism of the pyrolysis of manganese and manganese silicide CVD precursors

Russell, DK ; Davidson, IMT ; et al.

In: Web of Science ; http://webofknowledge.com, 2012, S. 103-107

Online academicJournal

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Titel:	The kinetics and mechanism of the pyrolysis of manganese and manganese silicide CVD precursors
Autor/in / Beteiligte Person:	Russell, DK ; Davidson, IMT ; Ellis, AM ; Mills, GP ; Pennington, M ; Povey, IM ; Raynor, JB ; Saydam, S
Link:	Volltext https://doi.org/10.1002/(SICI)1521-3862(199805)04:03<103::AID-CVDE103>3.3.CO;2-8
Zeitschrift:	Web of Science ; http://webofknowledge.com, 2012, S. 103-107
Veröffentlichung:	WILEY-V C H VERLAG GMBH, 2012
Medientyp:	academicJournal
ISSN:	0948-1907 (print)
DOI:	10.1002/(SICI)1521-3862(199805)04:03<103::AID-CVDE103>3.3.CO;2-8
Schlagwort:	Science & Technology Physical Sciences Technology Electrochemistry Materials Science Coatings & Films Physics Condensed Matter pyrolysis kinetics mechanism manganese silicide POWERED HOMOGENEOUS PYROLYSIS ELECTRON-SPIN-RESONANCE DEPOSITION PRECURSORS CARBON-MONOXIDE SYSTEMS PENTACARBONYL SPECTROSCOPY DERIVATIVES THERMOLYSIS COMPLEXES
Sonstiges:	Nachgewiesen in: BASE Sprachen: English Collection: University of Leicester: Leicester Research Archive (LRA) Document Type: article in journal/newspaper File Description: metadata Language: English Relation: CHEMICAL VAPOR DEPOSITION, 1998, 4 (3), pp. 103-107; http://hdl.handle.net/2381/18263

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