Pulsed plasmas for nanoCMOS and nanoelectronics devices elaboration

Pargon, E. ; Cunge, G. ; et al.

In: 2nd International Conference on Plasma Nanoscience (iPlasma Nano-II) ; https://hal.science/hal-00944937 ; 2nd International Conference on Plasma Nanoscience (iPlasma Nano-II), 2010, Bateman's Bay, Australia, 2010

Konferenz

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International audience

Titel:	Pulsed plasmas for nanoCMOS and nanoelectronics devices elaboration
Autor/in / Beteiligte Person:	Pargon, E. ; Cunge, G. ; Darnon, Maxime ; Vallier, L. ; Bodart, P. ; Petit-Etienne, C. ; Haass, M. ; Luere, O. ; Brihoum, M. ; David, T. ; Chevolleau, T. ; Joubert, O. ; Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM) ; Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) ; Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI) ; Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)) ; Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)
Link:	https://hal.science/hal-00944937
Zeitschrift:	2nd International Conference on Plasma Nanoscience (iPlasma Nano-II) ; https://hal.science/hal-00944937 ; 2nd International Conference on Plasma Nanoscience (iPlasma Nano-II), 2010, Bateman's Bay, Australia, 2010
Veröffentlichung:	HAL CCSD, 2010
Medientyp:	Konferenz
Schlagwort:	Bateman's Bay Australia Subject Geographic: Bateman's Bay Australia
Sonstiges:	Nachgewiesen in: BASE Sprachen: English Collection: Université Grenoble Alpes: HAL Document Type: conference object Language: English Relation: hal-00944937; https://hal.science/hal-00944937

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