PE CVD SiC Thin Films Modified by Pulsed Electron and Ion Beams : Technische Universitat Ilmenau; Fakultat fur Elektrotechnik und Informationstechnik
In: INTERNATIONALES WISSENSCHAFTLICHES KOLLOQUIUM-TECHNISCHE UNIVERSITAT ILMENAU; (1998) S. 665-668
Konferenz
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Titel: |
PE CVD SiC Thin Films Modified by Pulsed Electron and Ion Beams : Technische Universitat Ilmenau; Fakultat fur Elektrotechnik und Informationstechnik
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Autor/in / Beteiligte Person: | Huran, J. ; Hotovy, I. ; Kobzev, A. P. |
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Quelle: | INTERNATIONALES WISSENSCHAFTLICHES KOLLOQUIUM-TECHNISCHE UNIVERSITAT ILMENAU; (1998) S. 665-668 |
Veröffentlichung: | 1998 |
Medientyp: | Konferenz |
ISSN: | 0943-7207 (print) |
Sonstiges: |
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