Deposition of Si-DLC film and its microstructural, tribological and corrosion properties : ASME-ISPS/JSME-IIP joint conference on micromechatronics for information and precision equipment

Choi, J. ; Kawaguchi, M. ; et al.

In: MICROSYSTEM TECHNOLOGIES 13(8/10):1353-1358; Jg. 13 (2007) 8/10, S. 1353-1358

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Titel:	Deposition of Si-DLC film and its microstructural, tribological and corrosion properties : ASME-ISPS/JSME-IIP joint conference on micromechatronics for information and precision equipment
Autor/in / Beteiligte Person:	Choi, J. ; Kawaguchi, M. ; Kato, T. ; Ikeyama, M.
Link:	Full Text Finder (Volltext) E-Journal im Bestand der UB Hagen? http://explore.bl.uk/primo_library/libweb/action/display.do?tabs=detailsTab&gathStatTab=true&ct=display&fn=search&doc=ETOCCN064339021&indx=1&recIds=ETOCCN064339021
Quelle:	MICROSYSTEM TECHNOLOGIES 13(8/10):1353-1358; Jg. 13 (2007) 8/10, S. 1353-1358
Veröffentlichung:	2007
Medientyp:	Konferenz
ISSN:	0946-7076 (print)
Sonstiges:	Nachgewiesen in: British Library Document Supply Centre Inside Serials & Conference Proceedings Sprachen: English

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